高アスペクト比プローブ - ナノワールド/ナノセンサーズ社

FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ

─ ナノ／マイクロ領域のイメージングと数値解析

分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。

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高アスペクト比プローブ

急峻な側壁の形状観察に最適

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AR5シリーズ

ナノワールド(NanoWorld)/ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社の 高アスペクト比プローブ は、チップ先端部を高アスペクト比に加工したプローブです。
ノンコンタクトモードでの測定にご使用いただけます。

角度が90°に近い急峻な側壁の形状観察には高アスペクト比プローブをお勧めします。

高アスペクト比プローブには、チップ先端部をカンチレバーの中心軸に対して13°傾けた 傾斜補正タイプ もあります。傾斜補正プローブを使うと、AFMヘッドに装着した際にできるカンチレバーの角度 (一般に13°) を補正することができます。これによって対称なスキャンが実現し、ほとんど垂直な側壁の測定が可能になります。

【仕様】

・	チップ先端の曲率半径はティピカル値10nm、保証値15nm以下

ノンコンタクトモード 高共振周波数タイプ

AR5シリーズ　アスペクト比＝5：1

高アスペクト比の部分：チップ先端 2µm

　・ティピカルアスペクト比＝7：1

　・保証アスペクト比＝5：1

　・ハーフコーンアングル≦5°

テクニカルデータ	値	レンジ
厚さ [µm]	4.0	3.5～4.5
カンチレバー形状 [µm]	W＝30 L＝125	25～35 120～130
バネ定数 [N/m]	42	21～78
共振周波数 [kHz]	320	250～390

背面Alコート	数量
AR5-NCHR-10	10
AR5-NCHR-20	20
AR5-NCHR-50	50
AR5-NCHR-W	380

AR5Tシリーズ　アスペクト比＝5：1 傾斜補正

高アスペクト比の部分：チップ先端 2µm

　・ティピカルアスペクト比＝7：1

　・保証アスペクト比＝5：1

　・ハーフコーンアングル≦5°

テクニカルデータ	値	レンジ
厚さ [µm]	4.0	3.5～4.5
カンチレバー形状 [µm]	W＝30 L＝125	25～35 120～130
バネ定数 [N/m]	42	21～78
共振周波数 [kHz]	320	250～390

背面Alコート	数量
AR5T-NCHR-10	10
AR5T-NCHR-20	20
AR5T-NCHR-50	50
AR5T-NCHR-W	380

AR10シリーズ　アスペクト比＝10：1

高アスペクト比の部分：チップ先端 1.5µm

　・ティピカルアスペクト比＝12：1

　・保証アスペクト比＝10：1

　・ハーフコーンアングル≦2.8°

テクニカルデータ	値	レンジ
厚さ [µm]	4.0	3.5～4.5
カンチレバー形状 [µm]	W＝30 L＝125	25～35 120～130
バネ定数 [N/m]	42	21～78
共振周波数 [kHz]	320	250～390

背面Alコート	数量
AR10-NCHR-10	10
AR10-NCHR-20	20
AR10-NCHR-50	50
AR10-NCHR-W	380

AR10Tシリーズ　アスペクト比＝10：1 傾斜補正

高アスペクト比の部分：チップ先端 1.5µm

　・ティピカルアスペクト比＝12：1

　・保証アスペクト比＝10：1

　・ハーフコーンアングル≦2.8°

テクニカルデータ	値	レンジ
厚さ [µm]	4.0	3.0～5.0
カンチレバー形状 [µm]	W＝30 L＝125	22.5～37.5 115～135
バネ定数 [N/m]	42	10～130
共振周波数 [kHz]	330	204～497