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SPM・AFM用 Pyrex-Nitrideプローブ
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長方形のカンチレバー
カンチレバーの拡大図
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ナノワールド(NanoWorld)/ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社の Pyrex-NitrideTM (パイレックス・ナイトライド) プローブは、コンタクトモードあるいはダイナミックモードの 様々なイメージング・アプリケーションに対応できるように設計されています。
窒化シリコン(SiN)製のカンチレバーはバネ定数が非常に低くて柔らかく、 オキサイド・シャープンドで成形された高さ3.5µmのピラミッドチップが、 カンチレバーの端から4µm手前に取り付けられています。
カンチレバーは耐熱ガラス(Pyrex)製のホルダーで支持されており、 2種類のダイビングボード型(長方形)を持つカンチレバーのペアが、プローブ両端に取り付けられています。 カンチレバーはストレス補正型で、レーザをよく反射する65nm厚のCr/Au背面コーティングが施されています。

各プローブのホルダーは分離した状態で Gel-Pak容器に収めてお届けいたしますので、取扱いが非常に容易です。
コンタクトモード
 
カンチレバー番号 #1 #2
厚さ [µm] 0.6 0.6
カンチレバー形状 [µm] W=40
L=100
W=40
L=200
バネ定数 [N/m] 0.48 0.06
共振周波数 [kHz] 67 17
 
背面Cr/Auコート 数量
PNP-DB-20 20
PNP-DB-50 50
Pyrex-Nitrideのピラミッドチップ
【仕様】
概要

幅広いアプリケーションに対応できるSPM用プローブ
市販のSPMに適合
窒化シリコン(SiN)製のカンチレバーとチップ
耐熱ガラス製のホルダーでカンチレバーを支持
コンタクトモードの様々なイメージングアプリケーションに対応した設計
材質
カンチレバーの反りを最小限に抑えた低ストレス窒化シリコン
耐摩耗性と長寿命化を図った優れた硬さ
カンチレバー
長方形のカンチレバーを4本備えたマルチレバー設計
カンチレバー背面にCr/Auの反射コート
3°以下の反り量でのストレス補正
ホルダー
耐熱ガラス製ホルダー寸法: 3.4mm×1.5mm×0.2mm
個々のホルダーが分離されており、取扱いが容易
チップ
オキサイド・シャープンドによるピラミッドチップ
チップ高さ=3.5µm、チップ曲率半径<15nm(ティピカル)
マクロなハーフコーンアングルは35°
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