FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
 
分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。
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AFM/SPM
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硬度計
イメージ解析
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  ナノスケール硬さ試験機 Nano Indenter G200 システム  
 硬質薄膜の定量評価 
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連続剛性測定法 と Song-Pherrモデル
 高信頼性 
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ISO 14577 Part 1,2,3 に完全準拠
 ナノスクラッチ 
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鉛筆硬度から 定量評価 へ
★硬質薄膜の深さ方向への硬度プロファイル
★DLC薄膜のスクラッチ試験
独自のCSM法により、深さ方向に硬度、ヤング率を
連続的に取り込むことができます。
スクラッチ前(青) スクラッチ中(緑) スクラッチ後(赤)
3段階のデータ取り込みにより、薄膜強度を多角的に
評価することができます。
★主な仕様
★特長
   最大荷重   荷重分解能 
 標準ヘッド   500 mN   50 mN 
 低荷重ヘッド    30 mN    3 mN 
 100mm×100mm　超音波ステージ
 超低荷重 硬度・ヤング率   摩耗試験 
 硬度・ヤング率 深さプロファイル   破壊靭性試験 
 ナノスクラッチ   疲労試験