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| MEMSの試験 |
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2003年、特定のタイプのMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 構造を試験する必要性から、あるお客様からの問い合わせを受けました。 Nano Indenter XPとNanoSuiteエクスプローラを用いて得られた成功例について、概要を記述します。 MEMS Testing (英語) |
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| MEMSデバイスの多次元解析 |
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MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) の電気特性は長年テストされてきましたが、MEMS構造物の機械特性を決定する技法は限られたものでした。 設計工程における知識が不足することになり、MEMS構造物の機械的性能を把握することができませんでした。 あるお客様から、MEMSスイッチの機械的な解析を要請されました。 解析対象となる特性とは、スイッチの硬度、接点の腐食と汚染、それに打ち勝つのに必要な負荷、および故障メカニズムでした。 これらの特性の全てが高サイクル疲労試験で解析され、接点の故障は解消されたのです。 ここでは、CSM(連続剛性測定法)、NiDAQ NanoSuite Channel Manager、NanoSuite Explorerオプションを装備したナノインデンターシステムを用いて達成された成功例を示します。 Multidimensional Characterization of MEMS (英語) |
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| 多相合成物の押し込み試験 |
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ナノインデンテーション試験を行うことで材料の機械特性を正確に決定してきたという強力な歴史があります。 今日、材料技術者は非常に細かいミクロ構造を持つ材料を、活発に作成しています。 多相合成物の場合、各相での機械特性は材料の総合的な性能に影響しますので、各相を正確に特定してテストする能力が重要となります。 Nano Visionオプションを用いてDCM押し込みヘッドの能力を生かし、多相材料に存在する各相の硬度とヤング率をテストしました。 Nanoindentation of a Multiphase Composite (英語) |
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| カラー・トナーと紙との接着の研究 |
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ある印刷業界のお客様から、紙基板上に置かれた異なる種類のカラー・トナーのテストを要請されました。 Nano Indenter XPと、これが持つスクラッチ試験機能を用いて得られた成功例の概要を示します。 Color Toner/Paper Bonds Study (英語) |
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