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Nano Vision オプション |
ナノメカニカル顕微鏡 |
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押し込み試験の位置決めを連続的に制御し、押し込みに対するサンプルの応答を連続的に評価するナノポジショニングのニーズにお応えするために、ナノ機械的特性評価の分野における新技術 「ナノメカニカル顕微鏡」 として開発されました。 |
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| ★概要 |
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| Nano Vision ナノメカニカル顕微鏡は、押し込みヘッド内にある電磁コイルベースの荷重制御機構先端の圧子をサンプル表面をスキャンするプローブとして使用し、表面の3次元形状を測定するものです。Nano Visionは、クローズドループ制御付きの押し込みヘッドを、ナノインデンター・システムと組み合わせて使用します。 |
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| ★動作原理 |
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| Nano Visionは、AFM(原子間力顕微鏡)のコンタクトモードに類似した動作をします。 標準ヘッドまたはDCM-IIヘッドのどちらでも動作させることができ、押し込み試験に使用するダイヤモンド圧子でサンプル表面をスキャンします。 |
| サンプルは圧子によってスキャンされると、圧子とサンプル表面との間の相互作用によって押し込み軸が上下し、その変位がサンプルの高さ情報として取り込まれます。 この高さ情報を用いて、表面の3次元形状が得られます。 |
| スキャン結果として得られた3次元イメージは、材料の特性に関する貴重な情報を提供してくれます。 例えば、接触面積の計算において、パイルアップやシンクインという現象による影響を更に深く調べるのに使用することができます。 |
| ナノメカニカル顕微鏡の非常に有用な用途として、3次元イメージを用いてそのまま押し込み試験の位置決めができることが挙げられます。 MEMSデバイスのような、非常にスチフネス(剛性)が低く、かつ複雑な形状をしたサンプルでも、Nano Visionによって、押し込み試験の正確な位置決めを行うことができます。 |
| オペレーションモードとして、バッチモードと対話モードの2種類が標準で用意され、上記あるいは他の様々な用途に生かすことができます。 |
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| ウェハに実装されたマイクロミラー駆動用MEMSの両持ち梁のスキャンイメージ |
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マイクロミラーのスチフネス・マッピング例 |
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| ★システム仕様 |
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| ナノポジショニングステージ |
| ・ X-Y スキャンレンジ： 100 µm × 100 µm |
| ・ Z スキャンレンジ： 使用するヘッドによって異なります |
| ・ 位置決め精度： 2 nm |
| ・ 押し込み位置精度： ＜ 20 nm |
| ・ 共振周波数： 120～350 Hz (荷重によって異なります) |
| ・ 移動の平坦度： 2 nm |
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