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高密度 カーボン・チップ・プローブ |
プローブ先端にHDC探針を形成 |
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| ★概要 |
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ドイツ・ナノツールズ社(nanotools GmbH)は、AFMプローブのチップ先端部に高密度カーボン(HDC:DLC)を材料とする高アスペクト比かつナノメートル・レベルのシャープな先端曲率を持つチップを成長させたプローブを販売しています。
ナノツールズ社は、電子ビーム堆積(EBD)を利用し、任意の場所に任意の形状・任意の長さのHDCを成長させる技術を確立しました。 これにより、市販のAFM用プローブの先端部に、傾斜角度を±1°以内の誤差で制御した高アスペクト比チップや、2nm以下の先端曲率半径のシャープなチップを成長させます。
HDCは、プローブ材料として広く使用されている単結晶Siと比較して、8倍のヤング率とダイヤモンドに匹敵する強度を持つため、チップ先端の耐摩耗性が向上し、高アスペクト比かつシャープでありながら長寿命なプローブを作製できます。
インラインでの品質管理においても、繰り返し再現性の高いデータを提供できます。 最先端のLSIのトレンチやナノインプリントなどの形状から、Siやガラスなどのオングストロームレベルの粗さ評価まで、プロセスコントロールの用途にご利用いただけます。 |
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| ◆特長 |
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・ダイヤモンドに匹敵する高耐久性・耐摩耗性
・高アスペクト比形状 (20:1以上も可)
・傾斜誤差： ±1°以下
・探針の長さ： 10µm以上も可能
・シャープな探針先端 (先端曲率半径： 5nm以下)
・化学的に安定な材質： 耐酸性、耐有機溶媒性
・疎水性 (バイオアプリケーションに最適) |
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| ★アプリケーション |
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| ・LSI パターン測定 70nm幅ラインの測定例 |
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FWHM(半値全幅)で90nmと計測されるため、
チップの太さは20nm以下と予想されます。 |
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測定回数が多くなっても、
HDCチップでは、トレンチ内にチップが入り込めるため、
深さが変化することなく測定できます。
Siチップでは、磨耗によってトレンチ内にチップが十分に
入らなくなるため、深さの測定結果が小さくなります。 |
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| ・表面粗さ解析 Poly-Siの表面粗さ測定例 |
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Si製のスーパーシャーププローブは、
測定回数が増えるに従って、チップの磨耗により
粗さが大きく変化してしまいます。
ナノツールズのHDC製スーパーシャーププローブは、
耐摩耗性が高く、粗さはほとんど変化しません。 |
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| ・ライフサイエンス フォリサム(Forisomes)の観察例 |
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| biotool HDCプローブ |
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標準的なSiNプローブ |
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SEMイメージ |
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biotool HDCプローブでは、サンプルのエッジなども明瞭に観察でき、
正確な形状イメージを得ることができます。 |
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