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AdvancedTEC プローブ フォースカーブ測定やマニピュレーションに最適

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AdvancedTECシリーズに、Au・PtIr5をコーティングした特殊プローブ が加わりました。 詳細は ニュースリリース をご覧下さい。

ナノワールド(NanoWorld)/ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社の AdvancedTECTM プローブは、ノンコンタクト、クロースコンタクトモードでの測定に対応しており、 ハンドリング、感度、すばやいスキャンを行う性能を併せ持っています。 帯電を抑えるドープ処理をしたシリコンで作られ、化学的に不活性です。 また、機械的に高いQ値をもち、高い感度を実現しています。 AdvancedTECプローブはチップ部分がカンチレバー先端よりも突出しており、 10～15µmの高さの四面体形状のチップを持ちます。 先端の曲率半径は10nm以下(ティピカル値)です。

AFMヘッドに取り付けたときにカンチレバーが傾斜した場合でさえも 上方から真のチップ位置を視覚的に確認できる世界唯一のプローブ！
	・	プローブを所望の位置に正確に合わせることができます。
	・	サブµm域でチップを接近させることができます。

所望の観察位置

サブµm域でチップを接近

ノンコンタクトモード 高共振周波数タイプ   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 4.6 3.6～5.6 カンチレバー形状 [µm] W＝45 L＝160 40～50 150～170 バネ定数 [N/m] 45 12～110 共振周波数 [kHz] 335 210～490   ノーマル 数量 ATEC-NC-10 10 ATEC-NC-20 20 ATEC-NC-50 50 コンタクトモード   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 2.0 1.0～3.0 カンチレバー形状 [µm] W＝50 L＝450 45～55 440～460 バネ定数 [N/m] 0.2 0.02～0.75 共振周波数 [kHz] 15 7～25   ノーマル 数量 ATEC-CONT-10 10 ATEC-CONT-20 20 ATEC-CONT-50 50 フォースモジュレーション   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 3.0 2.0～4.0 カンチレバー形状 [µm] W＝35 L＝240 30～40 230～250 バネ定数 [N/m] 2.8 0.7～9.0 共振周波数 [kHz] 85 50～130   ノーマル 数量 ATEC-FM-10 10 ATEC-FM-20 20 ATEC-FM-50 50

【仕様】 概要 ・ 高分解能測定を可能にするSPM用プローブ ・ 市販のSPMで使用可能 ・ シングルクリスタルシリコン製 ・ ホルダー、チップ、カンチレバーを一体形成 材質 ・ 高ドープ、シングルクリスタルSi ・ 帯電を抑えるため、導電性を持つ ・ 低抵抗： 0.01～0.025 Ω・cm ・ 固有の応力がなく安定 ・ 温度変化に対しても変形が少ない ・ 液中、電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン カンチレバー ・ カンチレバーの断面形状は台形 ・ レーザー合わせがしやすい形状 ・ チップ幅を細くしてダンピングを低減 ホルダー ・ カンチレバーはシリコンホルダーに固定 ・ ホルダー寸法： 3.4mm×1.6mm×0.3mm ・ プローブ交換が容易 ・ ホルダーとサンプルの接触を避けるためコーナーをエッチング チップ ・ チップ形状は四角錐 ・ カンチレバーの最先端に形成 ・ ハーフコーンアングルは以下の通り    　30～35°(カンチレバー方向)    　20～25°(横方向) ・ チップの曲率半径は10nm以下 ・ チップ高さは 10～15µm

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