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Arrow プローブ 矢のような形状で位置合わせが容易

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ナノワールド(NanoWorld)／ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社の ArrowTM プローブは、ノンコンタクト、クロースコンタクトモードでの測定に対応しています。 帯電を抑えるドープ処理をしたシリコンで作られています。 化学的にも不活性で、かつ機械的に高いQ値をもち、高い感度を実現しています。 チップは高さ10～15µmの四角錐形状で、先端の曲率半径は10nm以下(ティピカル値)です。 カンチレバーが矢(Arrow)のような形状をしており、 チップはカンチレバーの先端に位置しています。 チップ位置をAFMの光学顕微鏡で確認することができ、 従来のプローブに比べ、サンプルの所望の位置に容易に合わせることができます。

ノンコンタクトモード 高共振周波数タイプ   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 4.6 4.1～5.1 カンチレバー形状 [µm] W＝45 L＝160 40～50 155～165 バネ定数 [N/m] 42 27～80 共振周波数 [kHz] 285 240～380   ノーマル 背面Alコート 数量 Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10 Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20 Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50 Arrow NC-W Arrow NCR-W 380 コンタクトモード   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 4.6 4.1～5.1 カンチレバー形状 [µm] W＝45 L＝160 40～50 155～165 バネ定数 [N/m] 42 27～80 共振周波数 [kHz] 285 240～380   ノーマル 背面Alコート 数量 Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10 Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20 Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50 Arrow NC-W Arrow NCR-W 380 フォースモジュレーション   テクニカルデータ 値 レンジ 厚さ [µm] 4.6 4.1～5.1 カンチレバー形状 [µm] W＝45 L＝160 40～50 155～165 バネ定数 [N/m] 42 27～80 共振周波数 [kHz] 285 240～380   ノーマル 背面Alコート 数量 Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10 Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20 Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50 Arrow NC-W Arrow NCR-W 380

【仕様】 概要 ・ 高分解能測定を可能にするSPM用プローブ ・ 市販のSPMで使用可能 ・ シングルクリスタルシリコン製 ・ ホルダー、チップ、カンチレバーを一体形成 材質 ・ 高ドープ、シングルクリスタルSi ・ 帯電を抑えるため、導電性を持つ ・ 低抵抗： 0.01～0.025 Ω・cm ・ 固有の応力がなく安定 ・ 温度変化に対しても変形が少ない ・ 液中、電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン カンチレバー ・ arrow(矢)のような形状 ・ カンチレバーの断面形状は台形 ・ レーザー合わせがしやすい形状 ・ ダンピングを低減する設計 ホルダー ・ ホルダー寸法： 3.4mm×1.6mm×0.3mm ・ プローブ交換が容易 ・ ホルダーとサンプルの接触を避けるためコーナーをエッチング チップ ・ チップ形状は四角錐 ・ カンチレバーの最先端に形成 ・ ハーフコーンアングルは以下の通り    　30～35°(カンチレバー方向)    　20～25°(横方向) ・ チップの曲率半径は10nm以下 ・ チップ高さは 10～15µm

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