AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
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ナノワールド/ナノセンサーズ社
SPM・AFM用 Arrow プローブ
位置合わせの容易なプローブ登場!!
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Arrowプローブ 上面 ナノワールド(NanoWorld)/ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社の ArrowTM プローブは、ノンコンタクト、クロースコンタクトモードでの測定に対応しています。 帯電を抑えるドープ処理をしたシリコンで作られています。 化学的にも不活性で、かつ機械的に高いQ値をもち、高い感度を実現しています。 チップは高さ10~15µmの四角錐形状で、先端の曲率半径は10nm以下(ティピカル値)です。

カンチレバーが矢(Arrow)のような形状をしており、 チップはカンチレバーの先端に位置しています。 チップ位置をAFMの光学顕微鏡で確認することができ、 従来のプローブに比べ、サンプルの所望の位置に容易に合わせることができます。
Arrowプローブ 側面と正面
ノンコンタクトモード 高共振周波数タイプ
 
テクニカルデータ レンジ
厚さ [µm] 4.6 4.1~5.1
カンチレバー形状 [µm] W=45
L=160
40~50
155~165
バネ定数 [N/m] 42 27~80
共振周波数 [kHz] 285 240~380
 
ノーマル 背面Alコート 数量
Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10
Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20
Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50
Arrow NC-W Arrow NCR-W 380
コンタクトモード
 
テクニカルデータ レンジ
厚さ [µm] 4.6 4.1~5.1
カンチレバー形状 [µm] W=45
L=160
40~50
155~165
バネ定数 [N/m] 42 27~80
共振周波数 [kHz] 285 240~380
 
ノーマル 背面Alコート 数量
Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10
Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20
Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50
Arrow NC-W Arrow NCR-W 380
フォースモジュレーション
 
テクニカルデータ レンジ
厚さ [µm] 4.6 4.1~5.1
カンチレバー形状 [µm] W=45
L=160
40~50
155~165
バネ定数 [N/m] 42 27~80
共振周波数 [kHz] 285 240~380
 
ノーマル 背面Alコート 数量
Arrow NC-10 Arrow NCR-10 10
Arrow NC-20 Arrow NCR-20 20
Arrow NC-50 Arrow NCR-50 50
Arrow NC-W Arrow NCR-W 380
【仕様】
概要

高分解能測定を可能にするSPM用プローブ
市販のSPMで使用可能
シングルクリスタルシリコン製
ホルダー、チップ、カンチレバーを一体形成
材質
高ドープ、シングルクリスタルSi
帯電を抑えるため、導電性を持つ
低抵抗: 0.01~0.025 Ω・cm
固有の応力がなく安定
温度変化に対しても変形が少ない
液中、電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン
カンチレバー
arrow(矢)のような形状
カンチレバーの断面形状は台形
レーザー合わせがしやすい形状
ダンピングを低減する設計
ホルダー
ホルダー寸法: 3.4mm×1.6mm×0.3mm
プローブ交換が容易
ホルダーとサンプルの接触を避けるためコーナーをエッチング
チップ
チップ形状は四角錐
カンチレバーの最先端に形成
ハーフコーンアングルは以下の通り
    30~35°(カンチレバー方向)
    20~25°(横方向)
チップの曲率半径は10nm以下
チップ高さは 10~15µm


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