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  PointProbe MFMシリーズ 磁気力顕微鏡モード測定用  

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磁気力顕微鏡(MFM)モードでの測定にはPointProbe(R) MFMシリーズのご使用をお勧めします。チップ面に磁性膜をコーティング、コントラストの高い磁気力イメージを得ることができます。チップ先端の曲率半径は50nm以下、面分解能は100nm以下です。

【テクニカルデータ MFMシリーズ】
 
ティピカル値
ティピカルレンジ
 厚さ [µm]
3
2.5-3.5
 平均幅 [µm]
28
22.5-32.5
 長さ [µm]
225
220-230
 ばね定数 [N/m]
2.8
1.2-5.5
 共振周波数 [kHz]
75
60-100
* 代表特性表つき   # 個別特性表つき

チップ先端の曲率半径はティピカル値50nm以下
膜厚約40nmのコバルト膜をカンチレバー背面、チップ面にコーティング
高感度測定のための高いメカニカルQファクター
測定前に必ず磁化方向を整えてからご使用下さい

【商品一覧】      
■MFMR  カンチレバー背面にAlコーティング
       チップ面にコバルトコーティング

MFMR-10#
磁気力測定用、10本/セット
MFMR-20#
磁気力測定用、20本/セット
MFMR-50
磁気力測定用、50本/セット
MFMR-W*
磁気力測定用、380本/ウェハ