ノンコンタクトモードでの測定にはPointProbe(R) NCLシリーズがご使用いただけます。このPointProbe(R) NCLシリーズはお手持ちのSPMのフィードバックループが高周波(400kHz)に対応できない場合や、ディテクタの構造上長いカンチレバー(125µm以上)が必要な場合のご使用をお勧めいたします。オペレーション安定性に優れ、早いスキャンスピードにも対応できます。特殊コーティング製品もご用意しております。
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【テクニカルデータ NCLシリーズ】
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ティピカル値
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ティピカルレンジ
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| 厚さ [µm] |
7
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6.5-7.5
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| 平均幅 [µm] |
38
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32.5-42.5
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| 長さ [µm] |
225
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220-230
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| ばね定数 [N/m] |
48
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31-71
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| 共振周波数 [kHz] |
190
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170-210
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| * 代表特性表つき # 個別特性表つき |
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| 【商品一覧】 |
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■NCL ノーマルタイプ
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| NCL-10# |
単結晶シリコン、10本/セット |
| NCL-20# |
単結晶シリコン、20本/セット |
| NCL-50 |
単結晶シリコン、50本/セット |
| NCL-W* |
単結晶シリコン、380本/ウェハ |
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■NCLR カンチレバー背面にAlコーティング
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| NCLR-10# |
単結晶シリコン、10本/セット |
| NCLR-20# |
単結晶シリコン、20本/セット |
| NCLR-50 |
単結晶シリコン、50本/セット |
| NCLR-W* |
単結晶シリコン、380本/ウェハ |
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