FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
 
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  PointProbe FMシリーズ フォースモジュレーション用  

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フォースモジュレーション測定にはPointProbe(R) FMシリーズのご使用をお勧めします。フォースモジュレーションに適したばね定数に設計されています。
ダイヤモンドコーティングチップ、導電ダイヤモンドコーティングチップもございます。

テクニカルデータ FMシリーズ
 
ティピカル値
ティピカルレンジ
 厚さ [µm]
3
2.5-3.5
 平均幅 [µm]
28
22.5-32.5
 長さ [µm]
225
220-230
 ばね定数 [N/m]
2.8
1.2-5.5
 共振周波数 [kHz]
75
60-100
* 代表特性表つき   # 個別特性表つき

DT-FMRシリーズでは膜厚約100nmのダイヤモンド膜をチップ面にコーティング
チップ先端の曲率半径は100~200nm
CDT-FMRシリーズではダイヤモンド膜にボロンをドープ
導電率は0.003~0.005Ωcm

【商品一覧】    

 
■FM  ノーマルタイプ

FM-10#
単結晶シリコン、10本/セット
FM-20#
単結晶シリコン、20本/セット
FM-50
単結晶シリコン、50本/セット
FM-W*
単結晶シリコン、380本/ウェハ-

■FMR  カンチレバー背面にAlコーティング

FMR-10#
単結晶シリコン、10本/セット
FMR-20#
単結晶シリコン、20本/セット
FMR-50
単結晶シリコン、50本/セット
FMR-W*
単結晶シリコン、380本/ウェハ-

■DT-FMR カンチレバー背面にAlコーティング
      チップ面にダイヤモンドコーティング

DT-FMR-10#
ダイヤモンド・コート・チップ、10本/セット
DT-FMR-20#
ダイヤモンド・コート・チップ、20本/セット
DT-FMR-50
ダイヤモンド・コート・チップ、50本/セット
DT-FMR-W*
ダイヤモンド・コート・チップ、380本/ウェハ

■CDT-FMR カンチレバー背面にAlコーティング
      チップ面に導電ダイヤモンドコーティング

CDT-FMR-10#
導電ダイヤモンド・コート・チップ、10本/セット
CDT-FMR-20#
導電ダイヤモンド・コート・チップ、20本/セット
CDT-FMR-50
導電ダイヤモンド・コート・チップ、50本/セット
CDT-FMR-W*
導電ダイヤモンド・コート・チップ、380本/ウェハ