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8500型 コンパクト FE-SEM |
電界放射型 走査型電子顕微鏡 |
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| ◆特長 |
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・電界放射型電子銃により、1kVで10nm分解能を実現
・原子ステップも観察可能な超高感度4S-MCP型検出器
・ミニチュア静電式電子ビームカラムで、省スペース化
・簡単操作、上級者向けアドバンスモードも装備 |
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| ★概要 |
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Agilent 8500型 FE-SEM(電界放射型電子顕微鏡：Field Emission Scanning Electron Microscope)は、低加速電圧での高分解能観察に最適化されたFE-SEMで、1kVの加速電圧で10nm以下の分解能を実現しています。
8500型FE-SEMのコンパクトなボディには、SEM上級者が望む 電界放射型電子銃、高感度・高効率な2次電子/反射電子検出器、高性能防振機構 などが標準で装備されています。 また、直観的な操作を可能とするGUI(グラフィカル・ユーザ・インタフェース)や、繰返し測定を容易にする座標記憶機能付きモータ・ステージも採用されており、SEM上級者だけでなく、初心者の方々にもお使いいただけるパワフルかつユーザフレンドリーな高分解能SEMです。 |
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| ★高分解能・高感度性能 |
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8500型FE-SEMは、大型で高価なFE-SEMでしか得られなかった高性能を提供するために、低加速イメージング用に最適化されたコンパクトFE-SEMです。
8500型FE-SEMでは、高輝度で安定性に優れた "熱陰極FE電子銃(ショットキー電子銃)" を採用しています。 FE電子銃のバーチャル・ソース径は10nm以下と極めて小さく、電子線のエネルギー拡散も少ないため、高分解能観察に適しています。 電子ビームカラムに内蔵されている対物レンズ、対物レンズ絞り、偏向レンズはいずれもシリコン積層技術を利用して作られており、画質低下の原因となる収差を最小限にできるため、精度の高い測定が可能になります。
また、試料直上に位置する4極マイクロチャネル・プレート型検出器(4S-MCP検出器)は、2次電子・反射電子を効率良く検出できるだけでなく、上下・左右の対向するデータを即座に演算し、微小な凹凸を強調するトポグラフィック・イメージでリアルタイム表示させることが可能です。 |
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| カーボン上の金粒子 |
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6H-SiC 単原子ステップ |
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粒子間に点在する数nmの粒子を観察
SE、1kV、123,159倍 |
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SiCの数nmのステップを観察
Topo、1kV、22,063倍 |
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| ★省スペース化 |
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8500型FE-SEMに採用されている電子ビームカラムは、厚みが10mm以下と極めて薄く、ショットキー電界放射電子銃と組み合わせても、手のひらサイズと非常にコンパクトです。 この技術によって、従来型の高分解能FE-SEMの鏡筒と比べて体積・重量が共に約1/10以下となり、レーザプリンタと同等のコンパクトサイズを実現しました。
AC100V電源だけを準備すれば、8500型FE-SEMを使用することができます。 高分解能FE-SEM設置時に必要となる、高電圧電源工事、エアーコンプレッサー、冷却水循環装置などの設置が不要なため、初期投資を抑えることができます。 |
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| ★幅広いアプリケーション |
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低加速イメージング用として最適化された8500型FE-SEMは、従来のデスクトップタイプSEMと比べ、電子ビームによる試料表面の帯電が圧倒的に尐ないシステムです。
このため、ナノ構造を被覆して埋めてしまう可能性のある導電性コートや、面分解能を落とす原因となる高電圧測定に頼る必要なく、ガラスなどの帯電しやすい試料から、高分子や薄膜、バイオマテリアルなどの電子線ダメージを受けやすい試料に至るまで、幅広い試料の表面構造を高分解能で観察することができます。 |
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| レジスト上の30nmライン構造 |
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マンソン住血吸虫 |
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電子線障害を受けやすい試料の観察
SE、1kV、51,298倍 |
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生体試料も明瞭に観察
SE、1kV |
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| ★多彩な測定機能 |
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8500型FE-SEMには、ベーシックモード、アドバンスモード、エキスパートモードの3つのオペレーション・モードが装備されています。 それぞれが、直観的な操作を可能とするGUIとなっており、電子顕微鏡の上級者から初心者まで幅広くかつ簡単にお使いいただけます。
プログラム設定が可能な試料ステージは、試料を取り出した後も、ボタン1つで同じ場所に戻すことができるため非常に便利です。
更に、加速電圧を連続的に変化させることができるため、試料ごとに異なるパラメータを簡単に最適化することができます。 また、シリコン積層技術で精密加工されたレンズ系を採用したことによって、従来のSEMで必要だった磁気レンズのヒステリシスによる調整が不要となり、測定前もしくは測定中でもリセットボタンをクリックするだけで初期設定値に戻すことができます。 |
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| ◆仕様 |
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| 分解能 |
10 nm / 1 kV |
| 電子銃 |
電界放射型 (ショットキー型) |
| 加速電圧 |
0.5 kV ～ 2 kV |
| 測定モード |
2次電子(SE)、反射電子(BSE)、トポグラフィ(Topo) |
| 本体サイズ |
584(W) × 470(D) × 584(H) mm |
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