FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
 
分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。
分析システム トップ > AFM/SPM用プローブ > 電気力顕微鏡用プローブ


ナノワールド社のページ
ナノセンサーズ社のページ

  PointProbe EFMシリーズ 電気力顕微鏡モード測定用  

  プローブ製品 トップ        製品一覧表        見積り請求  



電気力顕微鏡(EFM)モードでの測定にはPointProbe(R) EFMシリーズのご使用をお勧めします。このPointProbe(R) EFMシリーズは、PtIr5をカンチレバー背面、チップ面の両面にコーティングすることで導電性を持たせました。チップ先端の曲率半径は25nm以下です。

【テクニカルデータ EFMシリーズ】
 
ティピカル値
ティピカルレンジ
 厚さ [µm]
3
2.5-3.5
 平均幅 [µm]
28
22.5-32.5
 長さ [µm]
225
220-230
 ばね定数 [N/m]
2.8
1.2-5.5
 共振周波数 [kHz]
75
60-100
* 代表特性表つき   # 個別特性表つき

チップ先端の曲率半径はティピカル値25nm以下
PtIr5をカンチレバー背面、チップ面にコーティングし導電性を持たせました
高感度測定のための高いメカニカルQファクター

【商品一覧】   
■EFM  PtIr5をカンチレバー背面、チップ面にコーティング

EFM-10#
電気力測定用、PtIrコート、10本/セット
EFM-20#
電気力測定用、PtIrコート、20本/セット
EFM-50
電気力測定用、PtIrコート、50本/セット
EFM-W*
電気力測定用、PtIrコート、380本/ウェハ