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ナノ/マイクロ領域のイメージングと数値解析
分析システム営業部
では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな
分析機器
をご提供しております。
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PointProbe
EFMシリーズ
電気力顕微鏡モード測定用
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電気力顕微鏡(EFM)モードでの測定には
PointProbe
(R)
EFMシリーズのご使用をお勧めします。この
PointProbe
(R)
EFMシリーズは、PtIr5をカンチレバー背面、チップ面の両面にコーティングすることで導電性を持たせました。チップ先端の曲率半径は25nm以下です。
【テクニカルデータ EFMシリーズ】
ティピカル値
ティピカルレンジ
厚さ [µm]
3
2.5-3.5
平均幅 [µm]
28
22.5-32.5
長さ [µm]
225
220-230
ばね定数 [N/m]
2.8
1.2-5.5
共振周波数 [kHz]
75
60-100
* 代表特性表つき # 個別特性表つき
◆
チップ先端の曲率半径はティピカル値25nm以下
◆
PtIr5をカンチレバー背面、チップ面にコーティングし導電性を持たせました
◆
高感度測定のための高いメカニカルQファクター
【商品一覧】
■EFM
PtIr5をカンチレバー背面、チップ面にコーティング
EFM-10#
電気力測定用、PtIrコート、10本/セット
EFM-20#
電気力測定用、PtIrコート、20本/セット
EFM-50
電気力測定用、PtIrコート、50本/セット
EFM-W*
電気力測定用、PtIrコート、380本/ウェハ
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