コンタクトモードでの測定にはPointProbe(R) CONTシリーズのご使用をお勧めします。
特殊コーティング製品もご用意しております。
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【テクニカルデータ CONTシリーズ】
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ティピカル値 |
ティピカルレンジ |
| 厚さ [µm] |
2
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1.5-2.5
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| 平均幅 [µm] |
50
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45-55
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| 長さ [µm] |
450
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445-455
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| ばね定数 [N/m] |
0.2
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0.07-0.4
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| 共振周波数 [kHz] |
13
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10-17
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| * 代表特性表つき # 個別特性表つき |
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| 【商品一覧】 |
■CONT ノーマルタイプ |
CONT-10# |
単結晶シリコン､10本/セット |
CONT-20# |
単結晶シリコン､20本/セット |
CONT-50 |
単結晶シリコン､50本/セット |
CONT-W* |
単結晶シリコン､380本/ウェハ |
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■CONTR カンチレバー背面にAlコーティング |
CONTR-10# |
単結晶シリコン､10本/セット |
CONTR-20# |
単結晶シリコン､20本/セット |
CONTR-50 |
単結晶シリコン､50本/セット |
CONTR-W* |
単結晶シリコン､380本/ウェハ |
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| ■CONTPT カンチレバー背面とチップ面にPtIrコーティング |
CONTPt-10# |
単結晶シリコン､PtIrコート､10本/セット |
CONTPt-20# |
単結晶シリコン､PtIrコート､20本/セット |
CONTPt-50 |
単結晶シリコン､PtIrコート､50本/セット |
CONTPt-W* |
単結晶シリコン､PtIrコート、380本/ウェハ |
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