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分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。
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AFM/SPMプローブ
分析システム トップ > 高分解能AFM/SPM > 走査型プローブ顕微鏡とは？
  SPM (走査型プローブ顕微鏡) とは？ Agilent 5000/6000 シリーズ  
◆特長
・表面形状の3次元定量計測
・絶縁物の非蒸着測定
・大気・溶液・ガス雰囲気中観察
・試料表面を壊さないフォース・フィードバック
・表面電位・微小電流・熱伝導度などの物性マッピング
走査型プローブ顕微鏡 (SPM) の構造
★原理
 プローブを試料表面近傍に近づけると、表面から力を受けることでカンチレバーが上下に変動します。 
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 半導体レーザをカンチレバー背面に照射し、その反射光をフォト･ディテクタによって検出することでカンチレバーの 
 変動を検出します。 
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 フォト･ディテクタから出力される信号を一定に保つ(＝力一定)ために、Z軸ピエゾ素子によりプローブを上下に駆動 
 (光てこ式フォース･フィードバック機構)させます。 
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 フォース･フィードバックを駆動させながらプローブをX-Y軸方向に走査させると、表面の凹凸形状をなぞるように 
 プローブが上下します。
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 凹凸に追従するために印加されたZ軸ピエゾ素子への駆動電圧をモニターすることで、表面形状が描かれます。 
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 Z軸ピエゾ素子はnm/Vでキャリブレーションすることができるため、3次元の高さ情報が得られます。