FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
 
分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。
FE-SEM
AFM/SPM
CTスキャナ
硬度計
イメージ解析
AFM/SPMプローブ
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  仕様一覧 Agilent 5000/6000 シリーズ  
 
5500
5420
5600
6000 ILM
5100
 ピエゾスキャナ部
 　スキャナ構造 バランス
ペンデュラム式		 バランス
ペンデュラム式		 バランス
ペンデュラム式		 バランス
ペンデュラム式		 バランス
ペンデュラム式
 　フォース・センサ 光てこ 光てこ 光てこ 光てこ 光てこ
 　スキャン方式 プローブ
スキャン		 プローブ
スキャン		 プローブ
スキャン		 プローブ
スキャン		 プローブ
スキャン
 　オープンループ・スキャナ対応 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 　クローズドループ・スキャナ対応  ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 試料ステージ部
 　試料サイズ 20 mm 66 mm /
75 mm		 200mm
(最大 300mm)		 20 mm 20 mm
 　ステージ可動範囲 (X-Y方向) 10 mm 20 mm 200 mm 10 mm 5 mm
 　ステージ・タイプ マニュアル マニュアル 電動 マニュアル マニュアル
 　再現性 ─ ─ 500 nm ─ ─
 　ポイント・アンド・シュート ─ ─ ◎ ─ ─
 　液中ステージ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 　電気化学ステージ ◎ ─ ─ ◎ ◎
 　環境チャンバ ◎ ─ ─ ─ ◎
 　冷却ステージ (-30℃～室温) ◎ ─ ─ ─ ◎
 　加熱ステージ (0℃～40℃) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 　加熱ステージ (室温～250℃) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 イメージング機能
表
面
形
状		  コンタクトAFM (DCモード) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 アコースティックAFM
 (AACモード)		 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 磁気励振AFM
 (MACモード・ボトムタイプ)		 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 磁気励振AFM
 (MACモード・トップタイプ)		 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 トンネル電流 (STM) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
電
気
特
性		  電流マッピング (CS-AFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 電気力顕微鏡 (EFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 表面電位顕微鏡 (KFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 表面電位顕微鏡 (SMM) ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 磁気力顕微鏡 (MFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 インピーダンス (SMM) ─ ◎ ◎ ─ ─
 キャパシタンス (SMM) ─ ◎ ◎ ─ ─
 dC/dV (SCM) ─ ◎ ◎ ─ ─
 圧電応答マッピング (PFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ─
相
分
離		  摩擦力 (LFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 ダイナミックLFM (DLFM) ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 粘弾性
 (フォースモジュレーション)		 ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 位相イメージング ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 ハーモニック位相イメージング ◎ ◎ ◎ ◎ ─
力  フォースカーブ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 分子認識イメージング
 (PicoTREC)		 ◎ ◎ ◎ ◎ ─
環
境
制
御		  液中 AFM ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 液中 STM ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 電気化学 AFM ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 電気化学 STM ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
そ
の
他		  ナノリソグラフィ
 /ナノマニピュレーション		 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
 Q コントロール ◎ ◎ ◎ ◎ ─
 カンチレバー
 バネ定数校正モジュール		 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
※オプションが必要なものもございます。 ご相談下さい。