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モジュラー・デザイン |
陳腐化を防ぎ アップグレードが容易 |
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Agilent AFM/SPMは、トップダウン構造のスキャナと、お客様のニーズに最適な試料ステージ、モジュール化されたノーズコーンを組み合わせることによって、容易にかつ安価にイメージング・モードを追加することができます。 ノーズコーンはPEEKポリマー製で化学反応性が低く、幅広い溶媒に対応します。 AACモード、MACモード、STM、電流検出モードなどのノーズコーンが準備されています。 |
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| ノーズコーン |
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| スキャナ |
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3種類のAFMスキャナ ・90µm オープンループ ・10µm オープンループ ・90µm クローズドループ |
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| AFMスキャナ |
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| ステージ |
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| AFM/SPM |
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| ◆AFMスキャナ |
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| ★ラージスキャナ |
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スキャンサイズ: |
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X-Y軸 90µm × 90µm 以上 Z軸 7µm 以下 |
| ノイズレベル : |
0.5 A(RMS) 以下 (防音・防振時) |
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| ★スモールスキャナ |
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スキャンサイズ: |
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X-Y軸 9µm × 9µm 以上 Z軸 2µm 以下 |
| ノイズレベル : |
0.2 A(RMS) 以下 (防音・防振時) |
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| ◆ノーズコーン |
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| ★CSAFM(電流検出AFM)用 |
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3種類のアンプを用意 |
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電流検出感度 : |
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10 nA/V、1 nA/V、0.1 nA/V |
| ノイズレベル : |
20 pA、 2 pA、 0.2 pA (RMS) |
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| ★トップダウンMAC用 |
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大気/液中 兼用 |
| 倒立型顕微鏡上でMACモードとの同時使用 |
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| ★ステンレス製 |
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液中専用 |
| プローブ取付角度 : 8° |
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| ◆STMスキャナ |
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| ★ラージスキャナ |
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スキャンサイズ: |
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X-Y軸 10µm × 10µm 以上 Z軸 1.6µm 以下 |
| 電流検出感度 : |
1 nA/V、10 nA/V (選択) |
| 電流分解能 : |
1 pA (1 nA/V 使用時) |
| ノイズレベル : |
0.2 A(RMS) 以下 (防音・防振時) |
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| ★スモールスキャナ |
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スキャンサイズ: |
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X-Y軸 1µm × 1µm 以上 Z軸 1.6µm 以下 |
| 電流検出感度 : |
1 nA/V、10 nA/V (選択) |
| 電流分解能 : |
1 pA (1 nA/V 使用時) |
| ノイズレベル : |
0.06 A(RMS) 以下 (防音・防振時) |
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