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MACモードⅢ 見えないものが見えてくる多彩なイメージング機能

MACモードⅢは、Agilentのアプリケーション・エンジニアがこれまでに培ったイメージング技術を実現するために作られた機能増強オプションです。 MACモードⅢには3つのロックイン・アンプが標準装備されており、従来のMACモードはもちろん、ケルビン・フォース顕微鏡(KFM)や電気力顕微鏡(EFM)、ピエゾ・レスポンス(圧電応答)や高調波を利用したハーモニック位相イメージなど、幅広いイメージング機能を活用することができます。 MACモードⅢ 機能増強オプション

仕　様   3つのロックインアップ・モジュールを装備    ・全モジュールに、完全クアドラチャー・ロックイン・アンプ、補助入力、およびドライブを装備    ・うち、1つのモジュールには Qコントロール を装備   出力信号   振幅、位相、X および Y(I,Q)    ・バンド幅： 80Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz, 10kHz, 20kHz    　　　　　　　　(ソフトウェアで選択可能)   入力信号   各モジュールに、プログラム可能な低ノイズゲインアップを装備    ・ゲイン設定： 1x, 2x, 4x, 8x, 16x, 32x, 64x, 128x   入力周波数範囲   200Hz ～ 6MHz、 3dB   周波数分解能   0.009 Hz   ドライブ振幅   16ビット分解能、0.3mV   ドライブ位相制御   12ビット分解能、0.088度   Qコントロール   位相シフト分解能： 12ビット    ・6MHzの周波数範囲のバンド幅： 40kHz    ・ドライブ制御： 16ビット   追加インタフェース   2つの追加スロットを装備

KFM-1 (振幅フィードバック法) 原理図 KFM-2 (位相フィードバック法) 原理図 Qコントロールを使用したACモードの共振カーブ ロックインを詳細に設定できる "Advanced KFM" 画面

スキャンサイズ： 3µm スキャンサイズ： 3µm スキャンサイズ： 500nm KFM-1 (振幅) → 拡 大 KFM-2 (位相) → 拡 大 ↓　断　面 パーフルオロアルキル基含有オレフンの表面電位像 MACモードⅢによるKFM-2(位相フィードバック)の表面電位像では、 一般的な KFM-1(振幅フィードバック)を用いた表面電位像に比べて、 平面分解能、電位分解能 共に 高感度なデータ が得られています。

形状像 位相像 表面電位像 SRAM 表面電位　(スキャンサイズ： 50µm)

形状像 縦方向信号像 横方向信号像 SrBiTaO 圧電応答　(スキャンサイズ： 5µm)

形状像 位相像 2ndハーモニック位相像 PDES(ジエチルシロキサン) 2ndハーモニック位相　(スキャンサイズ： 5µm)

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