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5600型 AFM/SPM システム |
最大300mmの大型試料にも対応 |
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| ◆特長 |
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・単原子ステップも観測可能な低ノイズ設計
・光学像とステージ座標をリンクさせるポイント・アンド・シュート機能
・マニュアル操作でも座標を見失わないオプティカル・エンコーダ装備
・500nmの再現性を保証する高精度/高速ステージ
・SMM/STMにも対応する多彩なSPMオプション
・最大300mmφのサイズの試料も搭載可能
・陳腐化を防ぐモジュラー・デザイン |
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| ★概要 |
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Agilent 5600 AFM/SPMシステムは、使い易さを追求した大型試料対応型 多機能AFM/SPMシステムです。
200mm角の試料ステージには、直径8インチ、厚さ30mmの試料を真空固定することができ、全てのエリアにアクセスすることが可能です。 5600 AFM/SPMは、大型試料だけでなく、液中用試料ステージや、特許取得済のサーマルコンペンセーション機能付き加熱ステージも装着することができます。
5600 AFM/SPMは、半導体、材料科学、生命科学分野などの幅広いアプリケーションで利用可能です。 |
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| ★ポイント・アンド・シュート |
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5600 AFM/SPMシステムに標準装備されているポイント・アンド・シュート機能は、プローブ先端と試料ステージの座標をリンクさせる画期的な機能です。
光学顕微鏡画像の測定位置をマウスでクリックするだけで、プローブ直下まで試料を移動させることができます。 トラックボールやジョイスティックを使って微調整を行う煩わしさがなく、操作性が格段に向上します。 |
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| ★オプティカル・エンコーダ |
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5600 AFM/SPMシステムの座標管理に採用されている オプティカル・エンコーダは、Easy to Useを実現する画期的な座標管理機構です。 座標管理を光学的に行っているため、マニュアルでステージを動かした時でも座標は見失われません。 試料交換時にマニュアル操作でステージを一気に引き出し、元の場所にワンクリックで戻すような、従来のAFMシステムではあり得ない試料交換が可能となります。 ステージの移動スピードも 20mm/secと高速ですので、大型ステージ特有の試料交換時の煩わしさから解放されます。 |
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| Au(111)の単原子ステップ |
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| ★ナノ・メトロロジー |
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| スキャンサイズ： 3 µm |
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スキャンサイズ： 600 nm |
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| ベアシリコンウェハーのラフネスイメージ |
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| ベアシリコンウェハー表面ののラインプロファイル (スキャンサイズ： 600 nm) |
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