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5420型 AFM/SPM システム |
全SPM機能をサポートする多機能SPM |
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| ◆特長 |
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・原子スケール分解能
・使い勝手の良いオープンアクセス・ステージ
・光学顕微鏡 標準装備
・キャパシタンス・イメージングSMM) 対応
・プローブ・スキャン方式
・多彩なSPMオプション
・陳腐化を防ぐモジュラー・デザイン
・低ドリフト設計 |
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| ★概要 |
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Agilent 5420 AFM/SPMシステムは、優れた使い勝手と汎用性を兼ね備えた高精度AFM/SPMシステムです。
5420 AFM/SPMが採用しているオープンアクセス・ステージでは、半導体デバイスや電子部品の断面や、樹脂包埋した試料などを容易に分析することができます。 更に、表面電位・電流・キャパシタンス・粘弾性・熱などの全イメージング機能に対応していますので、オープンラボ・ユーザに適しています。 |
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| ★オープンアクセス・ステージ |
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5420 AFM/SPMシステムのステージは、2インチφ 20mm圧の試料を試料調整することなく搭載できます。
試料ステージはマニュアル・トランスレータによって動かすことができ、光学顕微鏡で観察しながらAFM/SPMでの測定位置を簡単に特定することができます。 |
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| ★マルチパーパス・システム |
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5420 AFM/SPMシステムは、Agilent社が開発した全てのナノイメージング機能をサポートするマルチパーパス・システムです。 特に、Agilent社製ネットワーク・アナライザとの組み合わせによってキャパシタンス・イメージングを実現する新技術SMM(Scanning Microwave Microscope)は、半導体デバイスの高感度ドーパント濃度イメージングはもちろん、その原理上、化合物半導体や生体材料のナノキャパシタンス・イメージングが可能なため、新たな材料物性評価法として注目されています。 |
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| ★低ノイズ設計 |
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5420 AFM/SPMシステムでは、高画質イメージが容易に得られるよう、様々な工夫が施されています。 ノイズ・フロアを低減するために、フレーム材質に高剛性材料が採用されているのがその一例です。
コントローラは、データ密度を高められるよう 4096×4096ピクセルにまで対応可能です。 |
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| スキャンサイズ： 1.5 µm |
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| ポリマー・セルガード（アイソタクティック・ポリプロピレンPET複合材料）の 高分解能イメージング |
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