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露点計
露点・湿度計測分野において30年以上の経験・実績があり、自動車・燃料電池・工業炉・環境試験からJIS規格まで広い製品規格に対応した露点・湿度計測ソリューションを国内だけでなくアジアをはじめ世界に向けてご提供し続けております。
露点計 > 測定原理
酸化アルミナ方式の測定原理 |
| アルミと金を電極として、この間に多孔質の酸化皮膜の層（酸化アルミ膜= 感湿層）を形成しています。この検出部は、電気的（回路）にはインピーダンス素子と等価になっています。 この酸化アルミ皮膜の細孔は、水分子の吸脱着に必要な孔サイズの分布をもっており、ここに吸着する水分子の量は水蒸気分圧に対応します。この水分子の量は感湿層のインピーダンスを変化させます。 このインピーダンスの変化量を捉え、信号処理を行うセンサ内部の電子回路（発信回路）から低周波を印加し、微少な電流変化を電圧信号に変え、さらにPFM（パルス周波数変調）方式に変換され、変換器から電子回路へ供給される電源ラインに重畳されたパルス信号として伝送されます。 インピーダンスの変化量は、変換器側にて周波数の値としてモニターされ、概ね25Hz～350Hzの間で変化します。 |
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高分子膜方式の測定原理 |
| 高分子膜を誘電体としてコンデンサを形成させ、相対湿度の変化量 （水分の吸脱湿）を静電容量の変化として捉えることを利用しています。 プローブを構成している湿度センサ素子は図1に示しますように基盤上にくし型上の電極を形成させ、その上に高分子（ポリイミド）層、多孔質の保護金属層、そして2つ目の高分子層で形成されています。 この素子が数ミリ角のCMOS-ICの集積回路の中に組み込まれ（図2）、 温度素子Pt1000と共に湿度センサ（図3）の中に取り付けられています。 この湿度センサの接ガス部は焼結金属フィルタで保護されています。湿度センサは、さらに脱着可能な保護フィルタカバーで保護されています。 この湿度センサ及び温度素子は、プローブ内部の電子回路によって信号処理されます。（V/F変換させることにより、ノイズに強く長距離伝送を可能にします。） 変換器側は、入力された信号をマイクロプロセッサにより相対湿度や露点温度に換算しています。 |
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鏡面冷却方式の測定原理 |
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汚染誤差補正機能（PACER）とは？ |
鏡面冷却露点計において、鏡面の汚れによる誤差は大きな問題です。その汚れは大きく分けて次の2種類が考えられます。
これらの汚れによる誤差を補正するために開発された機能が、ゼネラルイースタンの特許であるPACERです。 以下にPACERの動作原理を簡単に説明します。（右図参照）
この機能により、鏡面のクリーニング間隔がPACERを使用しない時に比べ、10～100倍延長可能となりました。 ＊PACER :（米国特許No.421669 ） Programmable Automatic Contaminant Error Reduction |
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