計測ユニット部

ホール効果測定,比抵抗測定,抵抗測定,ホール測定,ゼーベック測定,熱電能測定

ホール電圧/比抵抗測定システム

半導体材料の比抵抗とホール効果を測定し、キャリアタイプ、キャリア濃度、ホール移動度を求める装置です。

計測ユニット部には６種類のバリエーションがあり、試料の特性に合わせて選択できるようになっています。
試料の電極間抵抗値は最適な計測ユニットを選択する目安になります。

型式	8308	8308DC	8310	8310DC	8340DC	8350DC
AC磁場ホール測定	◯	×	◯	×	×	×
DC磁場ホール測定	◯	◯	◯	◯	◯	◯
デルタ電圧測定モード	◯	◯	×	×	◯	×
比抵抗測定範囲※	1E-08Ω 1E+09Ω	1E-08Ω 1E+09Ω	1E-05Ω 1E+09Ω	1E-08Ω 1E+09Ω	1E-08Ω 1E+03Ω	1E-06Ω 1E+03Ω
DC電圧感度	5nV	5nV	10uV	10μV	5nV	1μV
AC電圧感度	1μV		1μV

　※単位Ωcm試料厚を1μmと仮定した場合

８３０８型

８３０８DC型

８３１０型

８３１０DC型

８３４０DC型

８３５０DC型