温度センサ,低温測定,温度コントローラ,温度制御,低温物性,極低温,温度センサー
  低温物性システム・低温センサ・温度コントローラ・温度モニタ
 3.2Kまで冷却能力を持った極低温プローバーシステム。縦方向(2.5T)、横方向(1T)の磁場発生、ロードロック等多彩なオプションを用意しております。
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温度センサー/酸化ルテニウム

 
  特長 仕様 オーダーインフォメーション
標準カーブ1
RX-102、RX-202: 0.05K~40K
RX-103: 1.4K~40K
推奨駆動電圧2
RX-102、RX-202: 20μV(0.05K~0.1K)
63μV(0.1K~1.2K)
10mV以下(T>1K)
RX-103: 10mV以下(T>1K)
自己発熱
RX-102、RX-202: 7.5×10-8W@4.2K;
RX-103: 3.2×10-9W@1.4K、
5.5×10-9W@4.2K、
9.6×10-9W@77K
  (推奨駆動電流使用時)
温度応答時間 0.5sec@4.2K、2.5sec@77K
放射線下での使用 推奨できる
磁場中での使用3 推奨できる
再現性4 ± 15mK
1 RX-102Bには標準カーブは適用されません。
2 レイクショアが校正に使用している370型AC抵抗ブリッジによる1K以下の温度の場合の推奨駆動電圧。
3 RX-102Bは磁場中での使用を推奨しません。
4 再現性(短期再現性)の値は305Kから4.2Kのサーマル
使用温度範囲
  低温側リミット 高温側リミット
RX-102A-AA
0.05K
40K
RX-102B-CB
0.01K5
40K
RX-202A-AA
0.05K
40 K
RX-103A-AA
1.4K
40K
5 20mKまでの校正が可能
校正後の確度6
  RX-102A-AA RX-102B-CB RX-202A-AA RX-103A-AA
20mK
± 2mK
50mK
± 4mK
1.4K
± 16mK
± 16mK
± 16mK
± 16mK
4.2K
± 16mK
± 16mK
± 16mK
± 17mK
10K
± 18mK
± 18mK
± 18mK
± 22mK
6 [(校正の不確かさ)2 +( 再現性)20.5
長期安定性
  RX-102A-AA RX-102B-CB RX-202A-AA RX-103A-AA
4.2K
± 30mK
± 30mK
± 50mK
± 15mK
磁場による誤差 Δ T/T(%)
温度(K) RX-102A RX-102B
2.5T 8T 14T 19T 2.5T 8T 14T 19T
2
-1.4
-7.9
-13
-17
3.29
13.82
22.53
27.95
3
-1.5
-7
-14
-18
3.96
14.68
23.12
29.12
4
-0.56
-6.7
-14
-18
3.53
13.92
22.57
28.20
8
-1.3
-6.1
-13
-21
1.53
7.53
13.50
17.86
16
-0.40
-3.4
-9.6
-16
0.27
2.14
4.66
6.58
23
-0.31
-2.2
-6.2
-11
0.06
0.79
2.01
3.11

 
温度(K) RX-202A RX-103A
2.5T 8T 14T 19T 2.5T 8T 14T 19T
2
-0.13
-2.2
-3.9
-5.2
0.58
1.5
2.2
2.6
3
0.18
-0.68
-2.7
-3.7
0.44
1.1
1.7
2.0
4
0.77
0.046
-1.8
-3.2
0.27
0.95
1.4
1.7
8
-0.023
0.16
-0.65
-3.0
0.11
0.49
0.71
0.80
16
0.03
0.16
-0.48
-1.5
0.018
0.076
0.089
0.040
23
-0.05
-0.08
-0.39
-0.92
0.0051
0.0058
-0.0060
-0.095
確度:交換性
  RX-102A-AA-M
マッチング有り
RX-102A-AA
マッチング無し
RX-202A-AA-M
マッチング有り
RX-202A-AA
マッチング無し
RX-103A-AA-M
マッチング有り
RX-103A-AA
マッチング無し
0.05K
± 5mK
± 10mK
± 10mK
± 15mK
0.3K
± 15mK
± 20mK
± 20mK
± 25mK
0.5K
± 20mK
± 25mK
± 25mK
± 30mK
1.4K
± 25mK
± 50mK
± 50mK
± 100mK
± 50mK
± 150mK
4.2K
± 75mK
± 125mK
± 150mK
± 250mK
± 100mK
± 400mK
20K
± 500mK
± 1.25K
± 1K
± 2.5K
± 700mK
± 2K
40K
± 1.5K
± 4K
± 2K
± 5K
± 1.5K
± 4K
温度応答カーブデータ表(ティピカル)
  102A 102B
抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT) 抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT)
0.01K
9856.38
-413888
-0.4199
0.02K
7289.79
-170565
-0.4680
0.05K
70020
-5090000
-3.6
4676.87
-41480
-0.4435
0.1K
19390
-266000
-1.4
3548.94
-12578
-0.3544
0.3K
5615
-16600
-0.89
2502.26
-2365
-0.2836
1.4K
2005
-667
-0.47
1779.33
-197.7
-0.1555
4.2K
1370
-80.3
-0.25
1546.44
-40.04
-0.1087
10K
1167
-15.3
-0.13
1410.19
-15.43
-0.1094
40K
1049
-1.06
-0.04
1198.80
-3.411
-0.1138
 
  202A 103A
抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT) 抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT)
0.01K
0.02K





0.05K
110000
-12300000
-5.6
0.1K
23340
-274000
-1.2
0.3K
8364
-19400
-0.69
1.4K
3797
-935
-0.34
30750
-13570
-0.62
4.2K
2918
-121
-0.17
18150
-1560
-0.36
10K
2579
-31.6
-0.12
14060
-315
-0.22
40K
2244
-4.58
-0.08
11150
-21.7
-0.08
使用素材等
  質量 リード線 内部 雰囲気 センサーの材質
RX-102A-AA
RX-202A-AA
RX-103A-AA
3.3g
3.28g
3.36g
Formvar®をコーティングした2本の銅ワイヤ。折り曲げ保護管付き。ユーザーはここから4本に分枝して配線する
(無極性)
固体空気
ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 銀パラジウムの電極、インジウム半田、アルミナ基板、サファイアヘッダー、円柱状銅管、エポキシシール
RX-102B-CB
3.5g
6インチ長の2本の36AWG銅リード。ポリイミドによる絶縁コーティング。
なし
ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 銀パラジウムの電極。OFHCアダプターにエポキシにより取り付け。銅ワイヤをインジウム半田でチップに接続。銅のアダプターへの放熱にはワニスVGE7031を使用した。
 

ベアチップ A(チップ長) B(パッド幅) C(チップ幅) D(厚さ) 材料
RX-102A-BR
1.45mm
(0.057 in)
0.30mm
(0.012in)
1.27mm
(0.050in)
0.65mm
(0.022in)
ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム銀パラジウムの電極
RX-103A-BR
1.40mm
(0.070in)
0.21mm
(0.010in)
1.23mm
(0.060in)
0.41mm
(0.016in)

磁場による影響