温度センサ,低温測定,温度コントローラ,温度制御,低温物性,極低温,温度センサー
  低温物性システム・低温センサ・温度コントローラ・温度モニタ
 3.2Kまで冷却能力を持った極低温プローバーシステム。縦方向（2.5T)、横方向（1T）の磁場発生、ロードロック等多彩なオプションを用意しております。
セルノックス抵抗 > 仕様

温度センサー／セルノックス抵抗CXシリーズ

 
  特長 仕様 オーダーインフォメーション
■ 標準カーブ なし
■ 推奨駆動電圧1 20μV（0.1K～0.5K）
63μV（0.5K～1K）
10mV以下（1.2K～）
■ 自己発熱 10-5W＠300K、 10-7W＠4.2K、 10-13W＠0.3K（型式に依存する）（ティピカル値）（推奨駆動電圧使用時）
■ 温度応答時間
（ティピカル値）
BC, BR, BG ：1.5ms＠4.2K、50ms＠77K、135ms＠273K
SD
 ：15ms＠4.2K、0.25s＠77K、0.8s＠273K
AA
 ：0.4s＠4.2K、2s＠77K、1.0s＠273K
■ 放射線下での使用 使用可
■ 磁場中での使用 低温環境でも磁場中での使用が可能。磁気抵抗は30K以上では無視できる。かつ、磁場到来方向の影響は少ない。
■ 再現性2 ± 3mK＠4.2K
1 低温（T< 1K）での推奨値はレイクショアで校正に使用している370型ACブリッジの値をもとにしている
2 再現性（短期再現性）の値は305Kから4.2Kのサーマルショックの結果
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使用温度範囲
  低温側リミット 高温側リミット
CernoxTM
0.10K3
325K
CernoxTMHT
0.10K3
420K
3 品種に依存する（例：CX-1030の場合0.3K）
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校正後の確度4
  センサーの確度5
（ティピカル）		 長期安定性6
1.4K
± 5mK
± 25mk
4.2K
± 5mK
± 25mk
10K
± 6mK
± 25mk
77K
± 16mK
± 25mk
300K
± 40mK
± 153mk
500K
± 65mK
－
4 ベアチップの校正ができるのはリード線を取り付けた後です。リード線が不要な場合は除去してください。
　再びリード線をボンディングするスペースはあります。
5 ［（校正の不確かさ）2 +（ 再現性）2］0.5
6 長期安定性の値は200回のサーマルショックの結果です（305K～77K）
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磁場による誤差7 Δ T/T（％）
セルノックス 1050
温度（K） 2.5T 8T 14T 19T
2
1.3
3.1
3.9
5
4.2
0.1
-0.15
-0.85
-0.8
10
0.04
-0.4
-1.1
-1.5
20
0.04
0.02
-0.16
-0.2
30
0.01
0.04
0.06
0.11
77
0.002
0.022
0.062
0.11
300
0.003
0.004
0.004
0.006
7 2K以上の温度領域において特に磁場による影響が少なくなる
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温度応答カーブデータ表（ティピカル）
温度（K） CX-1010 CX-1030 CX-1050 CX-1070 CX-1080
抵抗 8
（Ω）		 dR/dT
（Ω /K）		 抵抗
（Ω）		 dR/dT
（Ω /K）		 抵抗
（Ω）		 dR/dT
（Ω /K）		 抵抗 8
（Ω）		 dR/dT
（Ω /K）		 抵抗
（Ω）		 dR/dT
（Ω /K）
4.2
277.32
-32.209
574.2
-97.344
3507.2
-1120.8
5979.4
-2225.3
―
―
20
187.11
-8.063
331.67
-19.042
1313.5
-128.58
1927.2
-214.11
―
―
40
138.79
-3.057
225.19
-6.258
692.81
-30.871
938.93
-46.553
6157.5
-480.08
60
115.38
-1.819
179.12
-3.453
482.88
-14.373
629.9
-20.613
3319.7
-165.61
80
70.837
-0.51
101.16
-0.82
205.67
-2.412
248.66
-3.15
836.52
-15.398
300
30.392
-0.065
41.42
-0.088
59.467
-0.173
66.441
-0.201
129.39
-0.545
 
―
―
34.779
-0.05
46.782
-0.093
51.815
-0.105
91.463
-0.261
 
―
―
33.839
-0.045
45.03
-0.089
49.819
-0.094
86.55
-0.231
8 セルノックスセンサーには標準温度カーブが規定されておらず、また、非常に幅広い値を取り得るので、本表にはティピカルな抵抗値を掲載しています。
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使用素材等
  質量 リード線 内部雰囲気 センサーの材質
ベアチップ
（BC）
（BG）
（BR）		 ≦3.0mg BR: なし
BG: 2本の金ワイヤ
　　直径　44AWG
　　長さ　25mm
BC: 2本の銅ワイヤ
　　直径　42AWG
　　長さ　25mm
なし
 感温素子はセラミックオキシナイトライド。パッドは金。サブストレートはサファイアで裏面は金、白金、モリブデンでメッキされている。（このチップはすべてのモデルに搭載されている）
ハーメチック
セラミック
パッケージ
（SD）		 ～40mg 2本の金メッキされた銅線
真空
 アルミナボディーの中にサファイア基板上の素子が取り付けられている。ふたはアルミナ。ふたとボディーのメッキはモリブデン、マンガン、ニッケル、金。ハーメチックシールは金スズ半田。リード線の取り付けに使う半田は60/40すず鉛。
銅キャニスター
パッケージ
（AA）		 ～390mg 色分けされたポリイミド被覆のついたリン青銅ワイヤー4本。折り曲げ防止管付き。 ヘリウム4 金メッキした円筒形の銅製カンの内側にセンサーチップが取り付けられている。
 

磁場による影響
中性子及びガンマ線の影響
校正値からの偏差 （ティピカル）
CX-1050型で見られた磁場による影響。温度範囲は2.03Kから286K。
200回のサーマルショック（305Kから77K）を与えた後に見られた偏差。
センサーはCX-1030型（ΔT=1mK＠4.2K、10mK＠100K）
AA パッケージ
ワイヤーはセンサーのプラス側とマイナス側で色分けされています。
（この図はエポキシシール側から見たものです）

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