温度センサー／キャパシタンス

温度の再現性
数日に渡って、キャパシタンスセンサーが温度サイクルにさらされると4.2K、77Kや室温において1K以下の温度の変化を起こしてしまいます。さらに長 い期間となるとその変化は数Kに及ぶこともあります。しかし、C（T）/C（4.2K）の値は一般に安定しており±0.5K以内になります。温度応答カー ブのこれらの変化やシフトは実際の使用中におけるセンサーの安定性には影響を与えませんので、温度制御素子としてのこのセンサーの第一の機能を損ねること もありません。

温度安定性／温度校正の確度
キャパシタンスセンサーには、エージングという現象があるため、この影響を少なくする手続きが必要となります。
こ の温度応答特性の変化は、どのような強誘電体にも起こるエージングまたは誘電定数、誘電損の経時変化に類似したものです。温度応答特性の短期（数分から数 時間）のドリフトとして現れるこの経時変化は、センサーの温度変化や、測定信号の電圧や周波数の変化によって引き起こされます。
これを補うために、センサーは使用する温度に1時間程度置いて安定化させると良く、そうすれば良好な温度制御性能が得られます。
1時間の安定化の後、この短期ドリフトは4.2Kにおいて0.1mK/分オーダーとなり、305Kにおいて数mK/分となります。ドリフトは常にキャパシタンスが減少する方向で起こります。そのため、290K以下の温度範囲では温度が下がる方向になります。