色度判定,輝度判定,ホットステージ,電圧保持率,TFT評価,LCD評価
  FPD計測システムプロジェクト
 液晶ディスプレイパネルの不良解析、及び構成部材の評価を行なう装置を提供いたします。
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取扱製品情報
 
TFT-LCD評価システム LCM-3型
ディスプレイの色彩輝度測定 ICAM
小型FPDの欠陥検査 SharpEye
液晶セルの電圧保持率、イオン密度、残留DC電圧、
過渡電流(γ1)の測定
6254型, MTR-1型, VHR-1型, TCM-1型
液晶材料の比抵抗の測定 SR-6517型
プレチルト角、空セルのギャップ測定 PAS-301型
弾性定数、誘電率異方性の測定 EC-1型
配向膜の光学異方性の測定 PI-Checker
任意波形電流駆動によりELディスプレイを評価 6730型
800V p-pの出力の電圧増幅器 HVA-800型
顕微鏡用ホットステージ HCSシリーズ, TSシリーズ


 

1)自社開発品

  

TFT-LCD評価システム LCM-3型


LCM-3型はTFT-LCDパネル内の微量な不純物測定が非破壊で行える世界初の測定装置です。従来TFT-LCDに用いる部材の評価では、TFT素子 の無いテストパネルを用いておりますが、これは実際の製品であるTFT-LCDパネルでの液晶層の測定が困難であったためです。 今回当社が開発したLCM-3型はTFT-LCDパネルで発生する焼き付き、フリッカーなどの表示不良が不純物に起因するかどうかを複数の電圧をパネルに 印加し、液晶層に流れる微小電流を測定することにより判定することが出来ます。また、TFT-LCDパネルの構成部材から発生する不純物のみならず、製造 工程で混入する不純物も検出しますので、製造プロセスの改善に使用することも可能です。

液晶物性評価システム 6254型


6254型は、電圧保持率、残留DC電圧、セルイオン密度及び過渡電流(γ1)測定を1台で行なえる新しいシステムです。それぞれの測定は1枚の測定モ ジュールで行ないます。最大8枚まで測定モジュールを実装可能ですので、複数のサンプル測定を短時間に行なうことが出来ます。特に、長い測定時間を要する 残留DC電圧測定は、8チャンネルまで1枚のパネルの測定時間と同じ時間に行なえますので、大幅な測定時間の短縮につながります。

液晶セルイオン密度測定システム MTR-1型


液晶ディスプレイの表示不良を引き起こす要因の一つに パネル内の不純物イオンがありますが、 そのイオンの量や経時変化を定量的に測定することは困難でした。 この問題を解決するために、 メルク・ジャパン(株)と(株)東陽テクニカでMTR-1 型液晶セルイオン密度測定システムを共同開発しました。 この装置は低周波の三角波を液晶セルに印加し、 電流・電圧信号のリサージュ波形を解析することにより、 液晶セル内のイオン密度を求めることができます。

電圧保持率測定システム VHR-1型


電 圧保持率測定は、 TFT-LCDパネルの研究、 開発、 製造過程に欠かせない評価手法です。 しかし、 評価する液晶テストセルのインピーダンスが非常に高いため、 99%以上の電圧保持率を正確に測定することが困難でした。 VHR- 1A型は、 高分解能A/Dコンバータ、 高圧サンプル&ホールドアンプを用いて正確に保持率測定が行なえます。 また、 VHR- 1S型は、 測定サンプルが複数の場合や、 マトリクスパネルの一部分の測定を行なう際、 測定効率を上げるのに大変便利です。

過渡電流(γ1)測定システム TCM-1型


液 晶セルの過渡電流測定は、 IPSモードの実用化やSTNパネルの表示高速化に伴う液晶材の低粘性率化の要求の増加、 パネルの抵抗測定、不純物イオンの測定要求の増加等により、 クローズアップされてきました。 従来の回転粘性率(γ1)の測定は、 磁場装置等の設備が必要で、又バルク状態でしか測定できませんでした。 しかし本装置では磁場装置を必要とせず、 液晶セルでの回転粘性率(γ1)の算出に必要なデータ (ダイレクタ・スイッチングピークや不純物イオンピークの電流値・時間) を測定することができます。

液晶比抵抗測定システム SR-6517型


比抵抗測定は、液晶材料の品質管理において極めて重要な測定と言えます。しかしながら、TFT-LCDに用いられるフッ素系ネマティック液晶などは、比抵 抗が高くなる傾向があり、より高感度な測定が求められます。SR-6517型は高感度エレクトロメータ/ソース、液晶を注入する液体電極、液体電極をノイ ズから守るシールドボックスから構成されており、比抵抗の高い液晶材料の測定を可能にしております。

弾性定数測定システム EC-1型


弾性定数は液晶材料の重要な物性値のひとつであることは良く知られています。EC-1型はフレデリクス転移を用いた測定手法でK11(スプレイ)、K33(ベンド)の測定を行います。また、誘電率異方性(Δε)の測定もEC-1型で行えます。

有機EL物性評価システム 6730型 New


有機ELディスプレイは次世代の表示素子として期待されております。液晶ディスプレイと異なり電流駆動ですので通常の電圧駆動の測定装置では寿命などの測定が困難です。6730型は有機ELディスプレイを任意電流波形で駆動し、電気光学測定が行える新しいシステムです。

PDP駆動用アンプ HVA-800型


HVA-800型は最大800Vp-pの出力の電圧増幅器です。任意波形発生器と組み合わせることにより、PDPの指定した場所の評価が行えます。

2)共同開発品

液晶配向膜評価システム PI-Checker


PI-Checker は、液晶ガラス基板上のポリイミド配向膜表面の光学異方性を測定するシステムです。この測定手法はNECエレクトロニクス(旧NECエレクトロン・デバイ ス)が開発した測定原理に基づいております。この異方性を測定することにより、配向膜のラビング、焼成、洗浄プロセスを数値で定量化することが可能です。 また、測定結果をシミュレーションフィッティングすることにより、配向膜の膜厚(配向部、無配向部)、誘電率、表面の傾き角を計算で求めることが出来ま す。

3)輸入品

デンマークDelta社製 2次元高速色彩輝度計 ICAM New


ディスプレイの開発、製造過程において輝度、色度は重要なパラメータです。 ICAMは携帯電話など小型のディスプレイからLEDディスプレイ等大型のものまで、2次元で輝度、色度の測定を高精度、高繰返精度で測定を行うことが可能です。 また、ビデオジェネレータと組み合わせることで、ディスプレイの動画応答評価やMPRT(動画応答速度)の測定も可能です。

米国Integral Vision社製小型FPD検査システム SharpEye


ディスプレイの開発、製造過程において表示不良の評価はきわめて重要です。
SharpEyeは従来のLCDをはじめ、LCOS、OLEDなどの小型FPDの様々な評価を行なうことができます。
検査項目には点欠陥・線欠陥・ムラ・輝度・クロストーク・グレースケール・コントラスト比・干渉縞があります。
その他オプションの追加により、様々な検査項目を追加することが可能です。

米国Elsicon社製 プレチルト角測定システム PAS-301型


液 晶ディスプレイの品質管理を行なう上で、プレチルト角はとても重要なパラメータです。PAS-301型は、TN、アンチパラレルのプレチルト角測定を数秒 で行ないます。測定方法はクリスタルローテーション法に基づいており、得られたセルの回転角vs.透過率カーブに2x2行列法によるフィッティングを行な い、プレチルト角、セルギャップを計算により求めます。

米国INSTEC社製 ホットステージ HCSシリーズ, TSシリーズ


HCSシリーズは、広いサンプルエリア、正確な温度コントロール、高速な温度可変、及び広い視野角領域といった特徴を持つ顕微鏡用ホットステージです。サンプルを上下からヒータで挟み、熱を伝えることでサンプルの温度変更を行ないます。

TSシリーズは、加熱及び冷却が可能なペルチェモジュールを用いた顕微鏡用ホットステージです。 温度高安定性、温度設定値への敏速な応答性を有しています。冷却時でも液体窒素を使用しないため、 顕微鏡ステージを回転させることが可能です。