色度判定,輝度判定,ホットステージ,電圧保持率,TFT評価,LCD評価
ＦＰＤ計測システムプロジェクト
液晶ディスプレイパネルの不良解析、及び構成部材の評価を行なう装置を提供いたします。
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ホットステージ性能・仕様比較表
ホットステージ
| HCSシリーズ | TSシリーズ | |||
| HCS４０２ | HCS３０２ | HCS４１０ | TS６２ | |
| 温度センサー | プラチナRTD | ← | ← | ← |
| 温度範囲 | -120～+400℃*1*2 （冷却ユニット LN2-P2AF2: -80℃ LN2-P4AF4: -120℃) |
-190～+400℃*2 （冷却ユニット LN2-P2AF2: -120℃ LN2-P4AF4: -190℃） |
-60～+400℃*2 （冷却ユニット LN2-P2AF2: -60℃) |
-30～+120℃ |
| 温度精度 | ±0.2℃ to 100℃ ±0.5℃ to 200℃ ±0.8℃ to 400℃ or 室温以下 (オプションセルをつけた時) |
±0.5℃ to 100℃ ±1.0℃ to 200℃ ±2.0℃ to 400℃ or 室温以下 (オプションセルをつけた時) |
±0.2℃ to 100℃ ±0.5℃ to 200℃ ±0.8℃ to 400℃ or 室温以下 |
±0.1℃ at 37℃ |
| 温度安定度 | ±0.1℃ at 100℃ | ← | ±0.2℃ at 100℃ | ±0.1℃ at 37℃ |
| 最小加熱冷却速度 | ±0.1 ℃/Hour | ← | ← | ±0.1 ℃/Hour |
| 最大加熱速度 | +100℃/分 at 37℃ | ← | ← | +50℃/分 at 37℃ |
| 最大冷却速度 | -50℃/分 at 37℃ | -100℃/分 at 37℃ | -60℃/分 at 37℃ | -50℃/分 at 37℃ |
| 加熱方式 | ヒーター | ← | ← | ペルチェ |
| 冷却方式 | 液体窒素 LN2-P2AF2 or LN2-P4AF4 |
← | 液体窒素 LN2-P2AF2 |
ペルチェ |
| 試料サイズ | 38X50mm | ← | ← | ← |
| サンプル室高さ | 2～12.5mm (標準 2mm) |
← | 2mm～6mm (標準 2mm) |
2.5～11.5mm (標準 2.5mm) |
| 対応顕微鏡形式 | 正立 | ← | ← | ← |
| 最小ワーキングディスタンス | 6.5mm | ← | ← | 2.5mm(2枚ガラス) 1.6mm(1枚ガラス) |
| 最小コンデンサーディスタンス | 10mm | ← | 13mm | 17mm |
| 対物側アパーチャサイズ | 10mm | ← | 5mm(10mmオプション) | 20mm |
| 照明側アパーチャサイズ | 2, 5, 8, 10mm(付替可) | 2, 5, 8, 10mm(付替可) | 5mm(10mmオプション) | 5mm |
| 開口角度(対物側)*3 | 90° | 85° | - | - |
| 開口角度(照明側)*3 | 90° | 90° | - | - |
|
*1 HCS402とHCS302の違いはヒーターがサンプル室の上下両面に装備されている(HCS402)かサンプル室下面のみ(HCS302)であるかの違いです。 HCS402のシステムにはHCS302のカバーがついてくるのでHCS402を購入していただいてもHCS302のカバーと冷却オプションを使用することで－190℃まで冷却することが可能です。 *2 室温以下に冷却するのに必要な冷却ユニットはオプションとなります。 *3 開口角度の中心点はサンプル室内下面アパーチャ中心。ビーム径は0で考えています。 | ||||
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 （A4サイズ／2p／1.01MB） |
 （A4サイズ／2p／194KB） |
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