強誘電体評価システム
リチウムイオン電池、燃料電池、太陽電池等、各種電池の評価から、
有機ELや液晶等の物性評価まで幅広く対応できる計測・評価システムを
供給しています。
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強誘電体特性評価システム オプション
電圧拡張オプション関係
| 高速電圧増幅器 | ||
| 出力電圧 | ：±100V、±200V、±300V、± 400V |  |
| 出力電流 | ：±100mADC（300V 以上は±75mA） | |
| 周波数帯域 | ：1MHz（@-3dB）（300V 以上は250kHz） | |
| スルーレート | ：300V/us（ ＠ 300pF） （300V 以上は150V/us） |
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| 高電圧増幅器 | ||
| 出力電圧 | ：±1kV、±4kV、±10kV | |
| 出力電流 | ：±40mA、±20mA、±10mA | |
| 周波数帯域 | ：1.8kHz、35kHz、45kHz（@-3dB） | |
| バーチャルグランド保護ユニット | ||
| 目 的 | ：電圧増幅器使用時のサンプルショートにおける瞬時電流をグランドへ流す。 |  |
| 保護対象 | ：IV&QV 変換器 | |
| 回路構成 | ：50Ω 抵抗、下流側ダイオード | |
| 高電圧分極変位測定冶具 | ||
| 機 能 | ：・高電圧印加時分極ヒステリシス測定におけるサンプルホルダ |  |
| ・ 高電圧印加時圧電変位測定（レーザ変位計使用）でのサンプルホルダ | ||
| サンプル形状 | ：直径25mm迄のコイン状 | |
| サンプル放電保護 | ：サンプルを絶縁油に浸すとができる。 | |
プロービング・オプション関係
| トラックボックス・プローバ | ||
| ステージ | ：4インチ、6インチ |  |
| ポジショナ | ：同軸×4 | |
| ホットチャック | ：可能（RT～400℃） | |
| その他 | ：顕微鏡、卓上除振台 | |
| シールディング・プローバ | ||
| ステージ | ：4インチ、6インチ、8インチ |  |
| ポジショナ | ：同軸／3軸 | |
| ホットチャック | ：可能 | |
| その他 | ：顕微鏡、卓上除振台等 | |
変位測定オプション関係
| 5nm分解能横置きフリンジカウント・レーザ変位計 | ||||||||||
| レーザ種類 | ：He-Ne ガスレーザ |  |
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| 測定項目 | ：圧電歪変位 | |||||||||
| 測定分解能 | ：5nm | |||||||||
| 0.3nm 分解能半導体フリンジカウント・レーザ変位計 | ||||||||||
| レーザ種類 | ：半導体レーザ |
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| 測定項目 | ：圧電歪変位 | |||||||||
| 測定分解能 | ：0.3nm | |||||||||
| 1nm 顕微鏡型フリンジカウント・レーザ変位計 | ||||||||||
| レーザ種類 | ：He-Ne ガスレーザ |
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| 測定項目 | ：圧電歪変位 （面外d33、面内d31 方向切り替え可能） |
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| 測定分解能 | ：1nm/10nm（面内）、4nm（面外） | |||||||||
| 原子間力顕微鏡（クローズドループリニアスキャナ搭載） | ||||||||||
| 測定項目 |
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| 構成品 | ：リニアスキャナ搭載原子間力顕微鏡、ミニチュアプローバ付サンプルパック、シグナルコンソール、コントローラ、ロックインアンプ、変位信号増幅器、除振台等 | |||||||||
インピーダンスアナライザ関係
| インピーダンスアナライザ（共振法圧電定数測定） | ||
| 測定パラメータ | ：インピーダンス、アドミタンス、コンダクタンス、抵抗、容量、誘電率、誘電損、インダクタンス他 |  |
| 測定手法 | ：各パラメータの周波数依存性 コールコールプロットも可 （周波数特性測定：10uHz ～ 32MHz） オフセット電圧依存性（CV 特性） 振幅電圧依存性 |
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| 共振法 | ：誘電率やアドミタンスの周波数特性測定、コールコールプロット図から必要なパラメータを測定できます。 | |
| 構成品 | ：インピーダンスアナライザ、交流測定・解析ソフトウエア | |
温度制御オプション関係
| 200℃10KV変位測定温度制御オプション | ||
| 測定項目 | ：Pr、変位、dss等のパラメータ対測定（横軸温度、縦軸パラメータ） | |
| 温度範囲 | ：RT ～ 200℃（-20℃～ 150℃のタイプもあります） | |
| 構成品 | ：小型恒温槽、温度モニタ、シールドボックス、ケーブル、制御ソフトウエア | |
| 恒温槽制御オプション | ||
| 測定項目 | ：Pr、誘電率等パラメータ対温度測定 （横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示） |
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| 温度範囲 | ：-40℃～ 150℃、RT ～ 200℃等 （温度範囲はご相談ください） |
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| ホットチャック装備トラックボックス・プローバオプション | ||
| ステージ | ：4インチ、6インチ |
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| ポジショナ | ：同軸x6まで | |
| 温度範囲 | ：RT～400℃ | |
| 超高温/ 高電圧サンプルホルダ | ||
| 温度範囲 | ：常温～ 1600℃（～40V） 常温～ 500℃（～10kV） |
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| 雰囲気制御 | ：各種ガス循環、真空（e-2Torr） | |
| 測定例 | ：Pr、誘電率等のパラメータやリーク電流対温度 （横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示） |
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| 極低温プローブステーション | ||
| 温度範囲 | ：4.5K ～ 475K |
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| 雰囲気制御 | ：N2パージ、真空（e-2Torr） | |
| ポジショナ | ：同軸、3軸x4 または6まで | |
| 焦電測定オプション | ||
| 測定項目 | ： 焦電電流対温度特性評価 |  |
| 構成品 | ： エレクトロメータ、解析ソフトウエア、ケーブル等 | |
FeRAM測定オプション関係
| 6074型リモートローノイズQV 変換器オプション機能 ： | |
| ・QV変換器2台搭載。以下の手法により微小キャパシタの分極ヒステリシスをクリアに測定 | |
| ・差動測定によりコモンモードのノイズをキャンセル | |
| ・2ch同時測定可能（波形測定、ノイズ測定を同時に行いノイズをキャンセル） | |
| 6324型8chファティーグアンプオプション機能： | |
| ・8ch同時ファティーグ評価 |  |
・8ch同時に疲労測定
強誘電体テスタの疲労波形を8つに分岐し出力 |
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| ・順次ヒステリシス、PUND測定 | |
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