強誘電体評価システム
リチウムイオン電池、燃料電池、太陽電池等、各種電池の評価から、
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FCE-PZ/PYR 型 圧電体/焦電体評価システム
ダブルビームレーザ変位計使用。変位10nm以下薄膜厚膜圧電素子のd33方向圧電変位評価
・強誘電体特性評価システム
・ダブルビーム方式フリンジカウントレーザ変位計
◆ 10nm 以下の圧電歪変位をより高い再現性で測定・ダブルビーム方式フリンジカウントレーザ変位計
◆ 分極ヒステリシスと同時測定。電気特性からもサンプル評価
◆ サンプル上下面から変位測定し基板反りをキャンセル。
薄膜・厚膜圧電素子のd31 方向圧電評価
ウエハやそれを切り出したサンプルにおいて、d31 方向変位1nm 程度を測定できる装置は、現在ありません。その
ため以下のような手法をとります。
◆膜材料のd31 圧電定数評価。
薄膜圧電素子のカンチレバー状サンプルを作成し、レーザ変位計にて電界印加に対する反りを測定し、形状、基板の諸定数などからd31、e31 等を求めます。
◆変位が比較的大きい（40nm 以上）ウエハやそれを切り出したサンプルの評価
面外フリンジカウントレーザ変位計を使用し、d31 方向圧電歪変位と分極ヒステリシス同時測定します。
◆変位が小さい（1nm 程度）ウエハやそれを切り出したサンプルの評価
前頁のAFM 使用のd33 圧電変位測定で代行します。その場合には、事前に上記カンチレバー状サンプルでのd31測定とAFM でのd33 測定の相関を調べる事が必要です。
但し、相対評価（波形の確認程度）であれば、AFM でd31 方向変位波形を直接測定表示することはできます。バルク圧電素子のd33/d31方向圧電評価
◆高電圧印加圧電歪変位（～10kV）と分極ヒステリシス同時測定（d33 方向）
変位計各種、電圧増幅器各種、測定冶具オプション等用意。
1～ 2kV 以上ではサンプルを絶縁油に浸します。
（サンプル表面スパークを防ぐ為）
◆共振法評価（インピーダンスアナライザ使用）オプション
焦電評価、環境変化評価
焦電評価
恒温槽、ホットチャック等温度変化装置オプションにて自動で温度変化させ、エレクトロメータ等で微少な焦電電流を測定、評価します。
また自発分極対温度を自動測定する焦電評価も行なえます。
環境変化評価
極低温、低温、高温、極低温、真空、ガス雰囲気等の環境変化オプションが充実しています。（下表を参照下さい）
これらオプションと組み合わせ、分極評価他各種電気的評価、圧電評価等の環境依存測定ができます。
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