強誘電体評価システム
 リチウムイオン電池、燃料電池、太陽電池等、各種電池の評価から、
有機ELや液晶等の物性評価まで幅広く対応できる計測・評価システムを
供給しています。
電気化学測定・
インピーダンス測定装置
燃料電池評価システム
電気化学測定機器
ロックインアンプ
強誘電体特性評価
高速電圧増幅器
   HOME　　>>　　圧電アプリケーション

圧電アプリケーション

変位1nm以下の薄膜圧電素子のd33方向圧電変位評価
  • 1nm前後の圧電歪変位をより高い再現性で測定
    （厚さ1um以下のPZT膜等）
  • 分極ヒステリシスと同時測定
    • 強誘電体特性評価システム
    クローズドループ搭載AFM
    （パシフィックナノテクノロジー社Nano-R型）
  • カンチレバーの捩れ・滑り等測定の再現性を妨げる要因をカット（サンプル表面平坦部分にアクセスする事により達成。Nano-R型は簡単正確にアクセス可能）
  • 上部電極面積を微少化 （d31方向変位による誤差を軽減する為）しても測定可能
  • 6インチウエハでの多点圧電変位測定AFMオプション
  • ランダムノイズ及び電源ノイズをキャンセル
    （強誘電体システム）
 
 
変位10nm 以下厚膜圧電素子のd33方向圧電変位評価
  • 10nm前後の圧電歪変位をより高い再現性で測定
    （厚さ10um以下のPZT膜等）
  • 分極ヒステリシスと同時測定
    • 強誘電体特性評価システム
    ダブルビーム方式フリンジカウントレーザ変位計
  • サンプル上下面の両面から変位測定しその差を測定値とし、
    d31方向変位が原因の基板反りをキャンセル
 
 
 
薄膜圧電素子のd33方向圧電ヒステリシス評価
  • 圧電ヒステリシスと分極ヒステリシスまたは
    CV同時測定が可能（d33方向）
    • 強誘電体特性評価システム
    クローズドループ搭載AFM
    （パシフィックナノテクノロジー社 Nano-R型）
  • 圧電定数値を直接プロット可能
 
 
厚膜圧電素子のd31方向圧電評価
  • チップ状サンプルのd31方向圧電歪変位と分極ヒステリシス同時測定
  • 変位計として面外フリンジカウントレーザ変位計を使用
    （変位量40nm以上）
  • AFMでは、変位波形の形状確認のみ可能
 
 
バルク圧電素子のd33/d31方向圧電評価
  • 高電圧印加圧電歪変位（～ 10kV）と分極ヒステリシス同時測定（d33方向）
  • 共振法評価（インピーダンスアナライザ使用）上下面圧電歪変位と
    分極ヒステリシス同時測定ダブルビーム・フリンジカウント


   HOME　　>>　　圧電アプリケーション
　製品一覧　｜　お問い合わせ　 　｜　東陽テクニカHOME　｜