強誘電体評価システム
 リチウムイオン電池、燃料電池、太陽電池等、各種電池の評価から、
有機ELや液晶等の物性評価まで幅広く対応できる計測・評価システムを
供給しています。
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圧電材料測定アプリケーション例

  • バルク・積層・製膜圧電素子の歪み変位・圧電定数測定
  • AFMやフリンジカウントレーザ変位計を接続測定
  • 高い再現性、効率の良い操作性

微小歪変位PEヒステリシス同時測定

  • 変位検出装置として、AFM(クローズドループ搭載）を使用
  • 積層圧電素子から薄膜まで可能

歪み変位測定例：PZT薄膜
（±20V、1ｋHz、測定変位=1.6nm）

微小d33圧電定数波形PEヒステリシス同時測定

  • ｄ33波形検出装置として、AFM(クローズドループ搭載）とロックインアンプを使用
  • 薄膜まで可能
d33波形測定例：PZT薄膜1μm
（OSC：10ｋHz、1Vrms、Ofset　Tri：5Hz、20V）

高電圧歪変位PEヒステリシス同時測定

  • 変位検出装置として、フリンジカウントレーザ変位計を使用
  • バルクから厚膜まで
測定例：PZTペレット
（±1400V、10Hz、測定変位=2.4μｍ）
フリンジカウントレーザ変位計
（ネオアーク＆グラフテック社）
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