振動計測,データ収録,CANバス,3次元計測,波形解析,視線計測,CAN BUS
  
 
各種輸送産業での研究・開発に不可欠な「振動・騒音」、「操縦性・安全性」、「乗り心地」等の計測・解析技術
自動車計測ソリューション > MTI社製非接触変位センサ > 光ファイバ式プローブ仕様
 光ファイバ式 プローブ仕様

プローブ使用可能温度範囲 -70℃~150℃ (オプション -190℃~750℃)
耐圧 98kPa ~ 3.447MPa (オプションで高真空 、高圧仕様あり)
プローブ全長(先端チップ部含む)は標準で1.37mです。その他の長さもご相談ください。
プローブ先端の曲げ加工ができます。(オプション)
また、プローブ先端にプリズムを付けることができます。(オプション)
これらにより光を照射角度を変えて、狭いワークなどにも対応できます。
その他、特注環境仕様、特注プローブ形状のご相談を承ります。
光学エクステンダを用い、測定レンジを約10mmシフトすることができます。(オプション)
測定物にプローブが近づけられないときに有用です。
 
 標準モデル

上図は典型的な光ファイバプローブの出力カーブになります。
レンジ1とレンジ2の2ヶ所に直線部分があり、この直線部分で測定します。

光学ピークを 10V に校正することで、どんな測定物でも同じ感度で測定できます。
測定物を光学ピーク位置でセットし走査すると、表面欠陥検出もできます。

<例:型式MTI-2020Rプローブの測定距離と測定範囲>
プローブ
型番
プローブ
外径
mm
スポット

mm
周波数応答
(-3dB)
kHz
出力
ノイズ
mV p-p

感度
μm/mV
分解能 例1 (100kHz時) μm  分解能 例2 (100Hz時) μm  プローブからの測定距離と
測定範囲
光学ピーク中心位置 mm 光学ピーク値 5%以内範囲 mm
MTI-
2020R
0.508 0.178 120 30 レンジ1 0.016 0.438 0.032 0.076mm  ~ (中心0.127mm) ~ 0.178mm の 0.102mm範囲 0.305 0.127
レンジ2 0.076 2.081 0.152 0.3555mm ~ (中心0.508mm) ~ 0.6605mm  の 0.305mm範囲
MTI-
2032R
0.813 0.483 120 20 レンジ1 0.019 0.347 0.038 0.0635mm ~ (中心0.127mm) ~ 0.1905mm の 0.127mm範囲 0.508 0.127
レンジ2 0.127 2.319 0.254 0.5205mm ~ (中心0.889mm) ~ 1.2575mm の 0.737mm範囲
MTI-
2047R
1.194 0.686 130 10 レンジ1 0.020 0.175 0.040 0.0635mm ~ (中心0.127mm) ~ 0.1905mm の 0.127mm範囲 0.457 0.127
レンジ2 0.203 1.780 0.406 0.610mm   ~ (中心1.118mm) ~ 1.626mm   の 1.016mm範囲
MTI-
2062R
1.600 1.194 150 5 レンジ1 0.025 0.102 0.050 0.051mm   ~ (中心0.127mm) ~ 0.203mm  の 0.152mm範囲 0.660 0.229
レンジ2 0.381 1.555 0.762 1.016mm   ~ (中心1.778mm) ~ 2.540mm   の 1.524mm範囲
MTI-
2062H
1.600 1.194 150 5 レンジ1 0.127 0.052 0.025 0.381mm   ~ (中心0.762mm) ~ 1.143mm  の 0.762mm範囲 2.540 0.356
レンジ2 0.508 2.074 1.016 2.8575mm ~ (中心3.810mm) ~ 4.7625mm の 1.905mm範囲
MTI-
2125R
3.175 2.286 190 3 レンジ1 0.025 0.054 0.050 0.102mm   ~ (中心0.178mm) ~ 0.254mm  の 0.152mm範囲 0.813 0.356
レンジ2 0.762 2.176 1.524 1.270mm   ~ (中心3.048mm) ~ 4.826mm   の 3.556mm範囲
MTI-
2125CTI
3.175 2.286 150 3 レンジ1 0.178 0.436 0.356 0.508mm   ~ (中心0.762mm) ~ 1.016mm  の 0.508mm範囲 2.540 0.508
レンジ2 0.762 2.449 1.524 3.810mm   ~ (中心5.588mm) ~ 7.366mm   の 3.556mm範囲
MTI-
2125H
3.175 2.286 150 3 レンジ1 0.330 2.450 0.660 0.381mm   ~ (中心1.270mm) ~ 2.159mm  の 1.778mm範囲 4.572 1.270
レンジ2 1.016 2.489 2.032 5.3975mm ~ (中心7.620mm) ~ 9.8425mm  の 4.445mm範囲
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 高分解能モデル

標準モデルをベースにした、高分解能モデルです。
このモデルの測定レンジは1つになります。

アンプ部のスイッチにて、 “標準モード” と “高分解能モード(分解能10倍)” の2種類の測定 の切り替えが可能です。
 
プローブ
型番
プローブ
外径mm
スポット径
mm
周波数応答
(-3dB)
kHz
出力
ノイズ
mV p-p
測定
モード
感度
μm/mV
分解能 例1
(100kHz時)
μm 
分解能 例2
(100Hz時)
μm 
プローブからの
測定距離と測定範囲
光学ピーク中心位置mm 光学ピーク値5%以内範囲mm
MTI-2032RX 0.813 0.483 100 30 標準 0.005 0.150 0.010 0.020mm ~ (中心0.038mm) ~ 0.056mm の 0.036mm範囲 0.127 0.038
高分
解能
0.0005 0.015 0.001 0.033mm ~ (中心0.038mm) ~ 0.043mm の 0.010mm範囲
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 反射率自動補正モデル

反射率の変化を自動補正し、ユーザー様が校正することなく直線特性の絶対値が得られます。
測定物正面にセンサが取り付けられない状況や、反射が一様でない回転体などの測定に特に有用です。

このモデルに限り、測定部の光スポットは長方形になります。
 
プローブ
型番
プローブ
外径
mm
スポット
方形
mm
周波数応答
(-3dB)
kHz
出力
ノイズ
mV p-p

感度
μm/mV
分解能 例1
(100kHz時)
μm 
分解能 例2
(100Hz時)
μm 
プローブからの測定距離と
測定範囲
200RC 5.080 0.762
×3.175
100 60 (レンジは
1つのみ)
0.406 24.36 0.812 1.270mm ~ (中心2.540mm) ~ 3.810mm の2.540mm範囲
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 エッジモデル

エッジプローブは、ハードディスクなどの薄い測定物の測定に適しています。
下図において、水平方向の変位を極めて高い精度で測定します。
プリズムで光を曲げる方法と、プローブ自身を曲げ加工する方法があります。
ユーザー様の仕様に合わせてプローブは製作します。

アンプ部のスイッチにて、 “標準モード” と “高分解能モード” の2種類の測定の切り替えが可能です。
 
プローブ型番 プローブ
外径
mm
スポット

mm
周波数応答
(-3dB)
kHz
出力
ノイズ
mV p-p
測定
モード
感度
μm/mV
分解能 例1
(100kHz時)
μm 
分解能 例2
(100Hz時)
μm 
プローブからの測定距離と測定範囲
MTI-2047E 1.194 0.686 100 13 標準 0.019 0.247 0.038 プローブ-プローブ間距離は任意、
測定範囲は0.127mm
高分解能 0.0025 0.0325 0.005 プローブ-プローブ間距離は任意、
測定範囲は0.051mm
MTI-2062E 1.600 1.194 100 18 標準 0.031 0.558 0.062 プローブ-プローブ間距離は任意、
測定範囲は0.191mm
高分解能 0.004 0.072 0.008 プローブ-プローブ間距離は任意、
測定範囲は0.061mm
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