物性計測,物性システム,電気特性,磁気特性,誘電特性,電子物性
東陽テクニカ
物性評価システム
  誘電率測定システム
 セラミック、高分子材料の誘電特性、MOS-FETなどの半導体界面の評価、固体/液体電解質の電気伝導率測定などに威力を発揮。
物性評価システム > 試料ホルダー  
試料ホルダー 試料にアクセスする機器　試料ホルダー部

東陽テクニカではマニピュレータタイプ極低温ウェーハプローバをはじめオーソドックスな液体窒素クライオスタット、そして超高温炉まで幅広い試料ホルダーを取り扱っています。
既存の試料ホルダーでは対応できない試料に対しては新規に取り付け治具を設計して対応します。
また、液体ヘリウムクライオスタット、冷凍機式クライオスタットも取り扱っています。

極低温プローバ　TTP4 型 デバイスクライオスタット　QT・ MT・FT型 クライオスタット　LN 型 多極ナノプローバ　AFP型 高温炉　VHT型 超高温炉　プロボスタット型

 
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 極低温プローバ　TTP4 型
LakeShore 社製TTP4型は測定試料に特別な配線処理をすることなく、チップやウェハをただサンプルステージに置くだけで簡単に測定が開始できるプローバ式クライオスタットです。TTP4 型は直径2インチまでのサンプルに対応しており、4本のマニュアルマニュピレータの先端に試料と測定に応じた探針を取り付けて測定します。
 ・ 基本温度範囲 ： 4.2K ～473K
 ・ 電　極　数 ： 4
 ・ 1.5K オプション
 ・ 光導入オプション
 ・ 600K オプション（測定温度に上限あり）
 ・ 6 探針タイプ、大型サンプルタイプあり
 ・ 1 テスラ超電導磁石オプション
 デバイスクライオスタット　QT・ MT・FT型
冷 媒として液体ヘリウムまたは液体窒素を使用するフロー式クライオスタットです。温度コントローラを併用してサンプルステージの温度を制御できます。光学測 定用窓があり、受光素子や発光素子の特性評価に使用できます。また、最大124ピンの信号線が取り出せるので受光素子アレイや超電導集積回路の評価に最適 です。
 ・ 温 度 範 囲 ： 4.2K ～300K
 ・ チャンバー直径 ： 3 ～10インチ
 ・ 電　極　数 ： 68 ～124ピン

 クライオスタット　LN 型
冷 媒として液体窒素を利用する77Kから 473K（200℃）までの温度範囲に対応したクライオスタット式試料ホルダーです。チップ状のサンプルを想定して試料台が設計されています。試料台には 3フッ化テフロン（PCTFE）を使用し、低温から高温まで高い絶縁抵抗を維持します。簡易電極として簡単にサンプルに接触できる爪型電極も用意されてい ます。また、試料に光を照射する実験に対応する導光窓付きタイプもあります。常電導磁石と組み合わせることができます。
 ・ 温 度 範 囲 ： 77K ～473K（200℃）
 ・ 電　極　数 ： 4 極（6極オプション）
 多極ナノプローバ　AFP型
Multiprobe 社製 AFP型 多極ナノプローバは、原子間力顕微鏡の技術を応用したナノプロービングシステムで、65nmプロセスノードで作成されたデバイスの１トランジスタに直接プ ロービングすることができます。原子間力顕微鏡の技術を応用していますので、電子ビーム等による試料へのダメージや計測誤差を軽減することはもちろんのこ と、試料とプローブ間の力も制御されているため試料へのダメージも最小限に抑えることができます。
 ・ 使 用 温 度 ： 室温
 ・ 探　針　数 ： 最大5極
 ・ 位置決め精度 ： 10nm以下
 ・ 走 査 範 囲 ： 35μm（1極）
 ・ プ ロ ー ブ ： タングステン製フルメタルプローブ

 高温炉　VHT型
室 温から1073K（800℃）までの温度範囲に対応した東陽テクニカ製高温試料ホルダーです。チップ状のサンプルを想定して試料台が設計されています。試 料台には溶融アルミナ材を使用し、高温でも高い絶縁抵抗を維持します。サンプルの雰囲気は真空のみならず不活性ガス中（600℃まで）でも測定できます。 常電導磁石と組み合わせることができます。
 ・ 温 度 範 囲 ： 室温～1073K（800℃）
 ・ 標準試料サイズ ： 10mm ×10mm
 ・ 磁 極 間 距 離 ： 52mm
 ・ 電　極　数 ： 4極（オプション6極）
 超高温炉　プロボスタット型
NorECs 社製プロボスタットは1600℃までの超高温に対応した試料ホルダーです。高温下での4端子法抵抗測定やケミカルインピーダンス測定、ゼーベック効果測定 等に適用できます。サンプルの陽極、陰極側にそれぞれ異なるガスを導入できるので燃料電池材料として期待されているSOFCの評価にも使えます。オプショ ンによりレーザー干渉計や分光計等を併用し、圧電変位特性、分光特性の評価を行うことが可能です。
 ・ 温 度 範 囲 ： 短時間 室温～1600℃
長時間 室温～1400℃
 ・ 最 大 電 圧 ： 5kV・電極数 ：6極

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