DLTS評価,ICTS評価,ワイドギャップ半導体,酸化物半導体,有機半導体,太陽電池,欠陥評価,トラップ評価
DLTS/ICTS評価システム
ワイドギャップ半導体等各種半導体の欠陥評価に最適です
DLTESTシリーズ
■DLTSとICTSの同時測定 ■インピーダンス過渡応答測定し容量過渡応答を演算 ■容量測定周波数1kHz～1MHz／電圧1mV～500mV ■活性化エネルギー・トラップ密度・捕獲断面積評価 ■自動測定制御（温度自動掃引・Z-t過渡応答自動測定（C-t演算）・ DLTS/ICTSスペクトル自動演算・アレニウスプロット自動演算表示） ■温調装置を各種ご用意 ◆高温クライオスタット（RT～1073K） ◆極低温クライオスタット（LHe/LN2～473K） |
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